定義與特性
負(fù)性光刻膠是一種在曝光后，未曝光區(qū)域會溶解于顯影液的光敏材料，形成與掩膜版（Mask）圖案相反的圖形。與正性光刻膠相比，其主要特點是耐蝕刻性強(qiáng)、工藝簡單、成本低，但分辨率較低（通常≥1μm），主要應(yīng)用于對精度要求相對較低、需要厚膠或高耐腐蝕性的場景。
化學(xué)組成與工作原理
主要成分
基體樹脂：
早期以聚異戊二烯橡膠（天然或合成）為主，目前常用環(huán)化橡膠（Cyclized Rubber）或聚乙烯醇肉桂酸酯，提供膠膜的機(jī)械強(qiáng)度和耐蝕刻性。
光敏劑：
主要為雙疊氮化合物（如雙疊氮芪）或重氮醌類衍生物，占比約5%-10%，吸收紫外光后引發(fā)交聯(lián)反應(yīng)。
交聯(lián)劑：
如六亞甲基四胺（烏洛托品），在曝光后與樹脂發(fā)生交聯(lián)，形成不溶性網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
溶劑：
多為有機(jī)溶劑（如二甲苯、環(huán)己酮），溶解樹脂和光敏劑，涂布后揮發(fā)形成均勻膠膜。
工作原理
曝光前：光敏劑和交聯(lián)劑均勻分散在樹脂中，膠膜可溶于顯影液（有機(jī)溶劑）。
曝光時：
光敏劑吸收紫外光（G線436nm為主）后產(chǎn)生活性自由基，引發(fā)交聯(lián)劑與樹脂分子間的共價鍵交聯(lián)，使曝光區(qū)域形成不溶于顯影液的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
顯影后：
未曝光區(qū)域的樹脂因未交聯(lián)，被顯影液溶解去除，曝光區(qū)域保留，形成負(fù)性圖案（與掩膜版相反）。
吉田公司以無鹵無鉛配方與低 VOC 工藝打造環(huán)保光刻膠。吉林PCB光刻膠供應(yīng)商
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品，主要涵蓋厚板、負(fù)性、正性、納米壓印及光刻膠等類別，以滿足不同領(lǐng)域的需求。
厚板光刻膠：JT-3001 型號，具有優(yōu)異的分辨率和感光度，抗深蝕刻性能良好，符合歐盟 ROHS 標(biāo)準(zhǔn)，保質(zhì)期 1 年。適用于對精度和抗蝕刻要求高的厚板光刻工藝，如特定電路板制造。
負(fù)性光刻膠
-
SU-3 負(fù)性光刻膠：分辨率優(yōu)異，對比度良好，曝光靈敏度高，光源適應(yīng)，重量 100g。常用于對曝光精度和光源適應(yīng)性要求較高的微納加工、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。
正性光刻膠
吉林PCB光刻膠供應(yīng)商松山湖半導(dǎo)體材料廠家吉田，全系列產(chǎn)品支持小批量試產(chǎn)!
-
LCD 正性光刻膠 YK-200：具有較大曝光、高分辨率、良好涂布和附著力，重量 100g。適用于液晶顯示領(lǐng)域的光刻工藝，確保 LCD 生產(chǎn)中圖形精確轉(zhuǎn)移和良好涂布效果。
-
半導(dǎo)體正性光刻膠 YK-300：具備耐熱耐酸、耐溶劑性、絕緣阻抗和緊密性，重量 100g。主要用于半導(dǎo)體制造工藝，滿足半導(dǎo)體器件對光刻膠在化學(xué)穩(wěn)定性和電氣性能方面的要求。
企業(yè)定位與資質(zhì)
成立背景：深耕半導(dǎo)體材料行業(yè)23年，位于松山湖經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，注冊資本2000萬元，是國家高新技術(shù)企業(yè)、廣東省專精特新企業(yè)及廣東省創(chuàng)新型中小企業(yè)。
質(zhì)量體系：通過ISO9001:2008認(rèn)證，嚴(yán)格執(zhí)行8S現(xiàn)場管理，原材料源自美國、德國、日本等國，確保產(chǎn)品穩(wěn)定性。
市場布局：產(chǎn)品遠(yuǎn)銷全球，與世界500強(qiáng)企業(yè)及多家電子加工企業(yè)建立長期合作關(guān)系，覆蓋集成電路、顯示面板、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域。
企業(yè)優(yōu)勢
研發(fā)能力：擁有多項專利證書，自主研發(fā)芯片光刻膠、納米壓印光刻膠等產(chǎn)品，配備全自動化生產(chǎn)設(shè)備，具備從材料合成到成品制造的全流程能力。
產(chǎn)能與品控：采用進(jìn)口原材料和嚴(yán)格制程管控，確保金屬雜質(zhì)含量低于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（如半導(dǎo)體光刻膠金屬雜質(zhì)<5ppb），良率達(dá)99%以上。
市場與客戶優(yōu)勢：全球化布局與頭部客戶合作
全球客戶網(wǎng)絡(luò)
產(chǎn)品遠(yuǎn)銷全球，與三星、LG、京東方等世界500強(qiáng)企業(yè)建立長期合作，在東南亞、北美市場市占率超15%。
區(qū)域市場深耕
依托東莞松山湖產(chǎn)業(yè)集群，與華為、OPPO等本土企業(yè)合作，在消費(fèi)電子、汽車電子領(lǐng)域快速響應(yīng)客戶需求。
產(chǎn)業(yè)鏈配套優(yōu)勢：原材料與設(shè)備協(xié)同
主要原材料自主化
公司自主生產(chǎn)光刻膠樹脂、光引發(fā)劑，降低對進(jìn)口依賴，成本較國際競品低20%。
設(shè)備與工藝協(xié)同
與國內(nèi)涂膠顯影設(shè)備廠商合作，開發(fā)適配國產(chǎn)設(shè)備的光刻膠配方，提升工藝兼容性。
負(fù)性光刻膠生產(chǎn)廠家。
客戶認(rèn)證：從實驗室到產(chǎn)線的漫長“闖關(guān)”
驗證周期與試錯成本
半導(dǎo)體光刻膠需經(jīng)歷PRS（性能測試）、STR（小試）、MSTR（中批量驗證）等階段，周期長達(dá)2-3年。南大光電的ArF光刻膠自2021年啟動驗證，直至2025年才通過客戶50nm閃存平臺認(rèn)證。試錯成本極高，單次晶圓測試費(fèi)用超百萬元，且客戶為維持產(chǎn)線穩(wěn)定，通常不愿更換供應(yīng)商。
設(shè)備與工藝的協(xié)同難題
光刻膠需與光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)等設(shè)備高度匹配。國內(nèi)企業(yè)因缺乏ASML EUV光刻機(jī)測試資源，只能依賴二手設(shè)備或與晶圓廠合作驗證，導(dǎo)致研發(fā)效率低下。例如，華中科技大學(xué)團(tuán)隊開發(fā)的EUV光刻膠因無法接入ASML原型機(jī)測試，性能參數(shù)難以對標(biāo)國際。
光刻膠的技術(shù)挑戰(zhàn)現(xiàn)在就是需要突破難關(guān)！福州制版光刻膠供應(yīng)商
光刻膠生產(chǎn)工藝流程與應(yīng)用。吉林PCB光刻膠供應(yīng)商
原料準(zhǔn)備
主要成分：樹脂（成膜劑，如酚醛樹脂、聚酰亞胺等）、感光劑（光引發(fā)劑或光敏化合物，如重氮萘醌、光刻膠單體）、溶劑（溶解成分，如丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA））、添加劑（調(diào)節(jié)粘度、感光度、穩(wěn)定性等，如表面活性劑、穩(wěn)定劑）。
原料提純：對樹脂、感光劑等進(jìn)行高純度精制（純度通常要求99.9%以上），避免雜質(zhì)影響光刻精度。
配料與混合
按配方比例精確稱量各組分，在潔凈環(huán)境，如萬中通過攪拌機(jī)均勻混合，形成膠狀溶液。
控制溫度（通常20-30℃）和攪拌速度，避免氣泡產(chǎn)生或成分分解。
過濾與純化
使用納米級濾膜（孔徑0.05-0.2μm）過濾，去除顆粒雜質(zhì)（如金屬離子、灰塵），確保膠液潔凈度，避免光刻時產(chǎn)生缺陷。
性能檢測
物理指標(biāo)：粘度、固含量、表面張力、分子量分布等，影響涂布均勻性。
化學(xué)指標(biāo)：感光度、分辨率、對比度、耐蝕刻性，通過曝光實驗和顯影測試驗證。
可靠性：存儲穩(wěn)定性（常溫/低溫保存下的性能變化）、耐溫性（烘烤過程中的抗降解能力）。
包裝與儲存
在惰性氣體（如氮?dú)猓┉h(huán)境下分裝至避光容器（如棕色玻璃瓶或鋁罐），防止感光劑氧化或光分解。
儲存條件：低溫（5-10℃）、避光、干燥，部分產(chǎn)品需零下環(huán)境（如EUV光刻膠）。
吉林PCB光刻膠供應(yīng)商
