江蘇巴頓C1902X205Y16分子泵軸承

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-18

高速真空環(huán)境下的潤(rùn)滑是分子泵軸承的技術(shù)難點(diǎn)。新巴頓采用油氣混合潤(rùn)滑技術(shù),通過(guò)微量油霧(0.01-0.05ml/h)與壓縮空氣的精確配比,在軸承滾道表面形成納米級(jí)潤(rùn)滑膜,既避免傳統(tǒng)脂潤(rùn)滑的積碳問(wèn)題,又將摩擦功耗降低 60%。對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈室需求,公司開(kāi)發(fā)的全氟聚醚(PFPE)潤(rùn)滑脂,其揮發(fā)分低于 0.1%,滿(mǎn)足 ISO 14644-1 Class 5 級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn),且在 10??Pa 真空度下仍保持穩(wěn)定潤(rùn)滑狀態(tài)。該潤(rùn)滑方案使軸承維護(hù)周期從傳統(tǒng)的 3 個(gè)月延長(zhǎng)至 12 個(gè)月,大幅降低半導(dǎo)體產(chǎn)線(xiàn)的停機(jī)成本。巴頓分子泵軸承:高性能分子泵軸承,助力半導(dǎo)體生產(chǎn)。江蘇巴頓C1902X205Y16分子泵軸承

分子泵軸承

定制化服務(wù),滿(mǎn)足用戶(hù)多樣化需求

為了滿(mǎn)足不同用戶(hù)的多樣化需求,巴頓提供了定制化的分子泵軸承服務(wù)。無(wú)論是尺寸、材質(zhì)還是性能要求,巴頓都能根據(jù)用戶(hù)的實(shí)際需求進(jìn)行量身定制。這種定制化的服務(wù)不僅提高了產(chǎn)品的適用性,還為用戶(hù)帶來(lái)了更加高效、便捷的使用體驗(yàn)。

嚴(yán)格的質(zhì)量控制,確保產(chǎn)品性能

巴頓分子泵軸承在生產(chǎn)過(guò)程中,嚴(yán)格執(zhí)行質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn),從原材料采購(gòu)、生產(chǎn)加工到成品檢驗(yàn),每一個(gè)環(huán)節(jié)都經(jīng)過(guò)嚴(yán)格把關(guān)。這種嚴(yán)格的質(zhì)量控制,確保了巴頓分子泵軸承的性能、品質(zhì)可靠,贏得了廣大用戶(hù)的信賴(lài)和好評(píng)。配圖:巴頓分子泵軸承的生產(chǎn)線(xiàn)和質(zhì)檢設(shè)備,以及成品檢驗(yàn)的場(chǎng)景。 普陀區(qū)C102HY17分子泵軸承新巴頓分子泵軸承優(yōu)化安裝設(shè)計(jì),簡(jiǎn)化流程,降低安裝難度。

江蘇巴頓C1902X205Y16分子泵軸承,分子泵軸承

推力圓柱滾子軸承的軸向定位技術(shù)分子泵轉(zhuǎn)子的軸向定位精度要求通常在 5-10μm,新巴頓的 81100 系列推力圓柱滾子軸承采用研磨級(jí)推力墊圈,其平行度誤差≤1μm,配合軸向預(yù)緊彈簧,可將轉(zhuǎn)子軸向竄動(dòng)量控制在 3μm 以?xún)?nèi)。在某電子束蒸發(fā)設(shè)備中,該軸承與徑向支撐軸承形成剛性定位系統(tǒng),確保蒸發(fā)源與基片的間距波動(dòng)不超過(guò) 5nm,滿(mǎn)足光學(xué)薄膜厚度的精密控制需求。軸承的滾子端面采用圓弧修形(曲率半徑 50mm),避免邊緣接觸導(dǎo)致的應(yīng)力集中,使軸向載荷均勻分布。

軸承保持架的輕量化與強(qiáng)度平衡:分子泵軸承的保持架需在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)兼具輕量化與抗離心力性能。新巴頓采用碳纖維增強(qiáng) PEEK 材料(密度 1.3g/cm3)制造保持架,其抗拉強(qiáng)度達(dá) 130MPa,較傳統(tǒng)黃銅保持架減重 60%,同時(shí)離心力引起的形變≤0.05mm。保持架窗口采用橢圓孔設(shè)計(jì)(長(zhǎng)軸 2.5mm,短軸 2mm),優(yōu)化滾珠引導(dǎo)軌跡,降低高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的振動(dòng)噪聲(≤65dB)。某半導(dǎo)體刻蝕機(jī)用分子泵更換該保持架后,軸承運(yùn)轉(zhuǎn)噪聲從 78dB 降至 62dB,符合 ISO 11683 工業(yè)噪聲控制標(biāo)準(zhǔn)。創(chuàng)新技術(shù),巴頓分子泵軸承助力科研。

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長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì),減少停機(jī)時(shí)間巴頓分子泵軸承采用長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì),能夠在長(zhǎng)時(shí)間的使用過(guò)程中保持穩(wěn)定的性能。這減少了紡織機(jī)械的停機(jī)時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率。同時(shí),長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)也意味著更低的維護(hù)成本,使紡織企業(yè)能夠?qū)W⒂谏a(chǎn),提高盈利能力。減少振動(dòng)和噪音,改善工作環(huán)境紡織機(jī)械在運(yùn)行過(guò)程中往往會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)和噪音,這對(duì)工人的工作環(huán)境和身體健康都會(huì)造成不良影響。巴頓分子泵軸承采用先進(jìn)的降噪技術(shù)和振動(dòng)控制技術(shù),有效降低了運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中的振動(dòng)和噪音。這不僅改善了工人的工作環(huán)境,還提高了生產(chǎn)效率。巴頓分子泵軸承:耐腐蝕材料,延長(zhǎng)軸承使用壽命。黃浦區(qū)巴頓C102HY17分子泵軸承

巴頓分子泵軸承:實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的理想選擇。江蘇巴頓C1902X205Y16分子泵軸承

行業(yè)定制優(yōu)勢(shì):精確適配各領(lǐng)域需求,新巴頓針對(duì)不同行業(yè)的特殊需求,提供專(zhuān)業(yè)化的定制解決方案。面向半導(dǎo)體行業(yè),推出通過(guò) SEMI S2 認(rèn)證的軸承產(chǎn)品,其總揮發(fā)性有機(jī)物(TVOC)含量低于 40ppb;為醫(yī)療 CT 設(shè)備定制的軸承,符合 ISO 13485 標(biāo)準(zhǔn),采用電解拋光工藝使表面粗糙度 Ra 值達(dá)到 0.03μm,滿(mǎn)足滅菌要求;針對(duì)紡織機(jī)械,研發(fā)出表面經(jīng) TD 處理(硬度 HV3200)的軸承,有效抵御纖維粉塵磨損。某化纖生產(chǎn)企業(yè)使用定制軸承后,設(shè)備運(yùn)行效率提升了 15%,維護(hù)成本降低了 65%,充分體現(xiàn)了定制化產(chǎn)品的優(yōu)勢(shì)。江蘇巴頓C1902X205Y16分子泵軸承