在工業(yè)生產(chǎn)當(dāng)中,真空腔體是真空鍍膜工藝的關(guān)鍵設(shè)備。是通過(guò)創(chuàng)造并維持的高度真空的環(huán)境,真空腔體能夠有效去防止材料在鍍膜過(guò)程中受到氧氣、水分等雜質(zhì)的污染,從而確保鍍膜的純度和質(zhì)量。這種技術(shù)廣泛應(yīng)用于我們?nèi)粘I钪械腖ED顯示屏、太陽(yáng)能電池板和光學(xué)鏡片以及高級(jí)裝飾品等領(lǐng)域,極大地提升了產(chǎn)品的性能和外觀品質(zhì)。在半導(dǎo)體制造業(yè)中,真空腔體同樣扮演不可或缺的角色,在工業(yè)領(lǐng)域中有一定的影響。在芯片制造過(guò)程中,硅片表面需要經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的清洗以去除雜質(zhì)和殘留物。真空腔體提供了一個(gè)無(wú)塵、無(wú)顆粒的環(huán)境,確保清洗過(guò)程的高效與精確。同時(shí),在后續(xù)的生產(chǎn)步驟中,真空腔體還能有效保護(hù)電子元件免受外界污染和氧化,保障半導(dǎo)體產(chǎn)品的穩(wěn)定...
實(shí)驗(yàn)室小型不銹鋼真空腔體的功能劃分集中,主要為生長(zhǎng)區(qū),傳樣測(cè)量區(qū),抽氣區(qū)三個(gè)部分。對(duì)于分子束外延生長(zhǎng)腔,重要的參數(shù)是其中心點(diǎn)A的位置,即樣品在生長(zhǎng)過(guò)程中所處的位置。所以蒸發(fā)源,高能電子衍射(RHEED),高能電子衍射屏,晶體振蕩器,生長(zhǎng)擋板,CCD,生長(zhǎng)觀察視窗的法蘭口均對(duì)準(zhǔn)中心點(diǎn)。暢橋真空科技(浙江)有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事真空設(shè)備的設(shè)計(jì)制造以及整合服務(wù)的提供商。公司經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展,積累了大量真空設(shè)備設(shè)計(jì)制造驗(yàn)以及行業(yè)內(nèi)專(zhuān)業(yè)技術(shù)人才。目前主要產(chǎn)品包括非標(biāo)真空腔體、真空鍍膜腔體、真空大型設(shè)備零組件等各類(lèi)高精度真空設(shè)備,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于航空航天、電子信息、光學(xué)產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、冶金、醫(yī)藥、鍍膜、科研部...
焊接是真空腔體制作中非常重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)作化學(xué)反應(yīng)從而影響焊接質(zhì)量,一般選用氬弧焊來(lái)完成焊接。氬弧焊是指在焊接過(guò)程中向鎢電極周?chē)鷩姲l(fā)保護(hù)氣體氬氣,以避免熔化后的高溫金屬發(fā)作氧化反應(yīng)。超高真空腔體的氬弧焊接,原則上有必要選用內(nèi)焊,即焊接面是在真空一側(cè),避免存在死角而發(fā)作虛漏。真空腔體不允許內(nèi)外兩層焊接和兩層密封。真空腔體的壁外表吸附大量的氣體分子或其他有機(jī)物,成為影響真空度的放氣源。為完成超高真空,要對(duì)腔體進(jìn)行150~250℃的高溫烘烤,以促使材料外表和內(nèi)部的氣體盡快放出。烘烤方法有在腔體外壁環(huán)繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳子中。比較經(jīng)濟(jì)簡(jiǎn)...
半導(dǎo)體積大尺寸真空腔體在半導(dǎo)體行業(yè)中用途,出海半導(dǎo)體列舉其中一些常見(jiàn)的應(yīng)用:薄膜沉積:在真空中,通過(guò)物理或化學(xué)方法可以將薄膜材料沉積在半導(dǎo)體晶片上。真空腔體提供了一個(gè)無(wú)氧、無(wú)塵和低氣壓的環(huán)境,以確保薄膜的質(zhì)量和一致性。蝕刻:蝕刻是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的關(guān)鍵步驟之一,用于在晶片上形成精細(xì)的圖案和結(jié)構(gòu)。真空腔體可以提供蝕刻所需的真空條件,以去除不需要的材料并形成所的電路圖案。離子注入:離子注入是將雜質(zhì)離子注入半導(dǎo)體晶片的過(guò)程,以改變其電性能。真空腔體用于維持注入過(guò)程所需的高真空環(huán)境,以確保離子的準(zhǔn)確注入。檢測(cè)和分析:真空腔體可以用于半導(dǎo)體晶片的檢測(cè)和分析,例如光學(xué)或電子顯微鏡觀察、光譜分析等。在真空條...
真空腔體的使用方法介紹:1、將反應(yīng)物倒入襯套內(nèi),空腔體并保障加料系數(shù)小于0.8。2、保障釜體下墊片位置正確(凸起面向下),然后放入襯套和上墊片,先擰緊釜蓋混合設(shè)備,然后用螺桿把釜蓋旋扭擰緊為止。3、將設(shè)備置于加熱器內(nèi),按照規(guī)定的升溫速率升溫至所需反應(yīng)溫度。(小于規(guī)定的使用溫度)。4、當(dāng)確認(rèn)內(nèi)部溫度低于反應(yīng)物系種溶劑沸點(diǎn)后方能打開(kāi)釜蓋進(jìn)行后續(xù)操作。真空腔體待反應(yīng)結(jié)束將其降溫時(shí),也要嚴(yán)格按照規(guī)定的降溫速率操作,以利于設(shè)備的使用壽命。5、確認(rèn)內(nèi)部溫度低于反應(yīng)物系種溶劑沸點(diǎn)后,先用螺桿把釜蓋旋扭松開(kāi),然后將釜蓋打開(kāi)。6、真空腔體每次使用后要及時(shí)將其清洗干凈,以免銹蝕。釜體、釜蓋線密封處要格外注意清洗干...
常見(jiàn)的真空腔體表面處理01清洗類(lèi)方法·溶劑清洗選用諸如乙醇之類(lèi)適配的有機(jī)溶劑,憑借其溶解特性,能夠有效清理真空腔體表面附著的油脂、污垢等污染物。該方法操作簡(jiǎn)便,易于實(shí)施。然而,面對(duì)一些頑固污漬,其清潔效果會(huì)大打折扣。·酸洗運(yùn)用鹽酸、硫酸等酸性溶液,借助化學(xué)反應(yīng)原理,可去除金屬表面的氧化物與銹跡。但在操作過(guò)程中,務(wù)必嚴(yán)格把控酸液濃度與處理時(shí)長(zhǎng),否則極易引發(fā)過(guò)度腐蝕,對(duì)金屬表面造成損傷?!A洗對(duì)于部分油脂類(lèi)污染物,堿洗能夠發(fā)揮良好的去除功效。同時(shí),堿洗還有助于優(yōu)化金屬表面的微觀結(jié)構(gòu)。其原理在于堿與油脂發(fā)生皂化等反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)清洗目的。不過(guò),清洗類(lèi)方法普遍存在操作簡(jiǎn)單卻清洗不徹底的問(wèn)題。暢橋真空腔體...
實(shí)驗(yàn)室小型不銹鋼真空腔體的功能劃分集中,主要為生長(zhǎng)區(qū),傳樣測(cè)量區(qū),抽氣區(qū)三個(gè)部分。對(duì)于分子束外延生長(zhǎng)腔,重要的參數(shù)是其中心點(diǎn)A的位置,即樣品在生長(zhǎng)過(guò)程中所處的位置。所以蒸發(fā)源,高能電子衍射(RHEED),高能電子衍射屏,晶體振蕩器,生長(zhǎng)擋板,CCD,生長(zhǎng)觀察視窗的法蘭口均對(duì)準(zhǔn)中心點(diǎn)。暢橋真空科技(浙江)有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事真空設(shè)備的設(shè)計(jì)制造以及整合服務(wù)的提供商。公司經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展,積累了大量真空設(shè)備設(shè)計(jì)制造驗(yàn)以及行業(yè)內(nèi)專(zhuān)業(yè)技術(shù)人才。目前主要產(chǎn)品包括非標(biāo)真空腔體、真空鍍膜腔體、真空大型設(shè)備零組件等各類(lèi)高精度真空設(shè)備,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于航空航天、電子信息、光學(xué)產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、冶金、醫(yī)藥、鍍膜、科研部...
真空腔體的結(jié)構(gòu)特征:真空腔體一般是指通過(guò)真空裝置對(duì)反應(yīng)釜進(jìn)行抽真空,讓物料在真空狀態(tài)下進(jìn)行相關(guān)物化反應(yīng)的綜合反應(yīng)容器,可實(shí)現(xiàn)真空進(jìn)料、真空脫氣、真空濃縮等工藝。可根據(jù)不同的工藝要求進(jìn)行不同的容器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和參數(shù)配置,實(shí)現(xiàn)工藝要求的真空狀態(tài)下加熱、冷卻、蒸發(fā)、以及低高配的混配功能,具有加熱快、抗高溫、耐腐蝕、環(huán)境污染小、自動(dòng)加熱、使用方便等特點(diǎn),是食品、生物制藥、精細(xì)化工等行業(yè)常用的反應(yīng)設(shè)備之一,用來(lái)完成硫化、烴化、氫化、縮合、聚合等的工藝反應(yīng)過(guò)程。真空腔體的結(jié)構(gòu)特征如下:1、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)需能在真空狀態(tài)下不失穩(wěn),因?yàn)檎婵諣顟B(tài)下對(duì)鋼材厚度和缺陷要求很?chē)?yán)格;2、釜軸的密封采用特殊衛(wèi)生級(jí)機(jī)密封設(shè)計(jì),也可采用...
真空技術(shù)在現(xiàn)代科學(xué)和工業(yè)領(lǐng)域中占據(jù)著至關(guān)重要的地位,而真空腔體作為真空系統(tǒng)的首要部件,其表面處理質(zhì)量直接影響著真空系統(tǒng)的性能和可靠性。真空腔體的表面處理不僅要確保良好的氣密性、耐腐蝕性,還要盡量減少放氣和吸附等現(xiàn)象,以維持高真空環(huán)境。常見(jiàn)的真空腔體表面處理方法。清洗:溶劑清洗使用合適的有機(jī)溶劑,如乙醇等,去除真空腔體表面的油脂、污垢等污染物。這種方法簡(jiǎn)單易行,但對(duì)于一些頑固污漬果有限。酸洗利用酸性溶液,如鹽酸等,去除金屬表面的氧化物和銹跡等。需要注意調(diào)制酸液濃度和處理時(shí)間,以避免過(guò)度腐蝕。堿洗對(duì)于一些油脂類(lèi)污染物,堿洗可以起到較好的去除效果。同時(shí),堿洗也有助于改善金屬表面的微觀結(jié)構(gòu)。清洗方法的...
腔體按使用功能可分為過(guò)渡腔、傳輸腔和反應(yīng)腔:過(guò)渡腔:是設(shè)備中晶圓真空環(huán)境入口,晶圓從外部運(yùn)輸至設(shè)備入口,經(jīng)過(guò)前端模塊(EFEM)后進(jìn)入過(guò)渡腔,方從大氣環(huán)境轉(zhuǎn)換為真空環(huán)境,后續(xù)再進(jìn)入真空環(huán)境的傳輸腔、反應(yīng)腔進(jìn)行工藝反應(yīng)。過(guò)渡腔以鋁合金為主,技術(shù)相對(duì)簡(jiǎn)單。傳輸腔:是晶圓在過(guò)渡腔和反應(yīng)腔之間進(jìn)行轉(zhuǎn)移的中間平臺(tái)。傳輸腔材料主要是不銹鋼,腔體需要保證密封性和真空度,同時(shí)由于傳輸腔需要與不同工藝的反應(yīng)腔連接,也需要采用不同的表面處理工藝來(lái)保證潔凈度和耐腐蝕性。傳輸腔主要由腔體、的真空機(jī)械手、傳輸腔與反應(yīng)腔連接處的門(mén)閥,以及各種真空密封件組成。反應(yīng)腔:是晶圓加工和生產(chǎn)的工作空間,由于多種工藝氣體會(huì)流入反應(yīng)腔...
真空腔體使用時(shí)的常見(jiàn)故障及措施:真空腔體是可以讓物料在真空狀態(tài)下進(jìn)行相關(guān)物化反應(yīng)的綜合反應(yīng)工具。具有加熱快、抗高溫、耐腐蝕、環(huán)境污染小、自動(dòng)加熱等幾大特點(diǎn),是食品、生物制藥、精細(xì)化工等行業(yè)常用的反應(yīng)設(shè)備之一,用來(lái)完成硫化、烴化、氫化、縮合、聚合等的工藝反應(yīng)過(guò)程。真空腔體使用時(shí)常見(jiàn)的一些故障及解決辦法如下:1、容器內(nèi)有溶劑,受飽和蒸汽壓限制。解辦法:放空溶劑,空瓶試。2、真空泵能力下降。解決辦:真空泵換油(水),清洗檢修。3、真空皮管,接頭松動(dòng),真空表具泄漏。解決辦法:沿真空管路逐段檢查、排除。4、儀器作保壓試驗(yàn),在沒(méi)有任何溶劑的情況下,關(guān)斷所有外部閥門(mén)和管路,保壓一分鐘,真空表指針應(yīng)不動(dòng),表示...
腔體是半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件,主要用于刻蝕、薄膜沉積設(shè)備中。腔體通常由高純度、耐腐蝕的材料制成,主要為不銹鋼和鋁合金。腔體為晶圓生產(chǎn)提供耐腐蝕、潔凈和高真空環(huán)境,用于承載并控制芯片制造過(guò)程中的化學(xué)反應(yīng)和物理反應(yīng)過(guò)程,主要應(yīng)用于刻蝕、薄膜沉積設(shè)備,也少量用于離子注入、高溫?cái)U(kuò)散等設(shè)備。腔體所需重要技術(shù)為高精密多工位復(fù)雜型面制造技術(shù)和表面處理特種工藝技術(shù),以保證反應(yīng)過(guò)程中腔體的真空環(huán)境、潔凈程度和耐腐蝕性能。專(zhuān)業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì),持續(xù)創(chuàng)新,為您帶來(lái)更高效的產(chǎn)品。遼寧真空腔體銷(xiāo)售晶體振蕩器:晶體振蕩器是分子束外延生長(zhǎng)的定標(biāo)設(shè)備。定標(biāo)時(shí),待蒸發(fā)源蒸發(fā)速度穩(wěn)定后,將石英振蕩器置于中心點(diǎn)。通過(guò)讀出石英振蕩器振蕩頻率...
·超聲波拋光將工件放置于磨料懸浮液中,并一同置于超聲波場(chǎng)里,依靠超聲波的振蕩作用,促使磨料在工件表面進(jìn)行磨削拋光。超聲波加工具有宏觀力小的特點(diǎn),不會(huì)導(dǎo)致工件變形,但其工裝制作和安裝難度較大。超聲波加工可與化學(xué)或電化學(xué)方法相結(jié)合,在溶液腐蝕、電解的基礎(chǔ)上,施加超聲波振動(dòng)攪拌溶液,促使工件表面溶解產(chǎn)物脫離,使表面附近的腐蝕或電解質(zhì)分布均勻。此外,超聲波在液體中的空化作用還能抑制腐蝕過(guò)程,有利于實(shí)現(xiàn)表面光亮化。·流體拋光流體拋光是依靠高速流動(dòng)的液體及其攜帶的磨粒對(duì)工件表面進(jìn)行沖刷,從而達(dá)到拋光目的。常見(jiàn)的方法包括磨料噴射加工、液體噴射加工、流體動(dòng)力研磨等。其中,流體動(dòng)力研磨由液壓驅(qū)動(dòng),使攜帶磨粒的液...
真空腔體是一種封閉的空間,內(nèi)部的氣壓低于大氣壓,通常是通過(guò)抽取空氣或其他氣體來(lái)實(shí)現(xiàn)的。真空腔體通常由金屬或玻璃等材料制成,具有良好的密封性能,以防止氣體泄漏進(jìn)入或從中逸出。真空腔體在許多領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。在科學(xué)研究中,真空腔體常用于實(shí)驗(yàn)室中的物理、化學(xué)和生物學(xué)實(shí)驗(yàn),以提供無(wú)氧或低氧環(huán)境,或者用于研究高真空條件下的物質(zhì)性質(zhì)。在工業(yè)領(lǐng)域,真空腔體常用于制造半導(dǎo)體器件、光學(xué)元件和電子設(shè)備等高精度產(chǎn)品,以確保產(chǎn)品質(zhì)量和性能。此外,真空腔體還用于航天器、核反應(yīng)堆和高能物理實(shí)驗(yàn)裝置等領(lǐng)域。在航天器中,真空腔體可以提供太空中的真空環(huán)境,以確保航天器的正常運(yùn)行。在核反應(yīng)堆中,真空腔體可以用于控制核反應(yīng)程中的...
焊接是真空腔體制作中非常重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)作化學(xué)反應(yīng)從而影響焊接質(zhì)量,一般選用氬弧焊來(lái)完成焊接。氬弧焊是指在焊接過(guò)程中向鎢電極周?chē)鷩姲l(fā)保護(hù)氣體氬氣,以避免熔化后的高溫金屬發(fā)作氧化反應(yīng)。超高真空腔體的氬弧焊接,原則上有必要選用內(nèi)焊,即焊接面是在真空一側(cè),避免存在死角而發(fā)作虛漏。真空腔體不允許內(nèi)外兩層焊接和兩層密封。真空腔體的壁外表吸附大量的氣體分子或其他有機(jī)物,成為影響真空度的放氣源。為完成超高真空,要對(duì)腔體進(jìn)行150~250℃的高溫烘烤,以促使材料外表和內(nèi)部的氣體盡快放出。烘烤方法有在腔體外壁環(huán)繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳子中。比較經(jīng)濟(jì)簡(jiǎn)...
真空是指低于大氣壓力的氣體的給定空間,真空是相對(duì)于大氣壓來(lái)說(shuō)的,并非空間沒(méi)有物質(zhì)存在。真空是物理學(xué)里面的一個(gè)概念,反映的是空無(wú)一物的狀況,即真空并不是無(wú)物而是有實(shí)物粒子和虛粒子轉(zhuǎn)化的,但整體對(duì)外是不顯示物理特點(diǎn)的宏觀整體,真空就像是一個(gè)能量海,不斷振動(dòng)并且充滿(mǎn)著巨大能量,真空的特點(diǎn)確實(shí)是需要用空間來(lái)描繪,是為了便利研究才引入的參量,并不是說(shuō)真的性質(zhì)取決于空間。真空腔體是建立在低于大氣壓力的環(huán)境下,以及在此環(huán)境中進(jìn)行工藝制作、科學(xué)試驗(yàn)和物理丈量等所需要的技能。用現(xiàn)代抽氣方法取得的很低壓力,每立方厘米的空間里仍然會(huì)有數(shù)百個(gè)分子存在。氣體淡薄程度是對(duì)真空的一種客觀量度直接的物理量度是單位體積中的氣體...
真空腔體按使用功能可分為過(guò)渡腔、傳輸腔和反應(yīng)腔:?過(guò)渡腔:是設(shè)備中晶圓真空環(huán)境入口,晶圓從外部運(yùn)輸至設(shè)備入口,經(jīng)過(guò)前端模塊(EFEM)后進(jìn)入過(guò)渡腔,方從大氣環(huán)境轉(zhuǎn)換為真空環(huán)境,后續(xù)再進(jìn)入真空環(huán)境的傳輸腔、反應(yīng)腔進(jìn)行工藝反應(yīng)。過(guò)渡腔以鋁合金為主,技術(shù)相對(duì)簡(jiǎn)單。?傳輸腔:是晶圓在過(guò)渡腔和反應(yīng)腔之間進(jìn)行轉(zhuǎn)移的中間平臺(tái)。傳輸腔材料主要是不銹鋼,腔體需要保證密封性和真空度,同時(shí)由于傳輸腔需要與不同工藝的反應(yīng)腔連接,也需要采用不同的表面處理工藝來(lái)保證潔凈度和耐腐蝕性。傳輸腔主要由腔體、中部的真空機(jī)械手、傳輸腔與反應(yīng)腔連接處的門(mén)閥,以及各種真空密封件組成。?反應(yīng)腔:是晶圓加工和生產(chǎn)的工作空間,由于多種工藝氣...
表面改性類(lèi)方法·噴丸噴丸是一種借助丸粒高速轟擊工件表面,進(jìn)而植入殘余壓應(yīng)力,提升工件疲勞強(qiáng)度的冷加工工藝。經(jīng)噴丸處理后,工件表面的污物被清理,表面保持完整且表面積有所增加。由于加工過(guò)程中工件表面未遭破壞,加工產(chǎn)生的多余能量促使工件基體表面強(qiáng)化,同時(shí)能夠有效去除零件表面的氧化層?!娚皣娚笆抢脡嚎s空氣作為動(dòng)力源,將噴料(如銅礦砂、石英砂、金剛砂、鐵砂、海南砂等)以高速?lài)娚涫男问絿娚涞焦ぜ砻?,以此?shí)現(xiàn)對(duì)基體表面的清理與粗化。在操作時(shí),需特別注意對(duì)腔室的密封面及刀口等關(guān)鍵部位進(jìn)行妥善包裝,防止噴上沙子。具體操作流程為:首先按用戶(hù)要求,將120鉬砂子及80鉬碗按2:1的比例混合后對(duì)腔室進(jìn)行噴砂處...
真空技術(shù)在現(xiàn)代科學(xué)和工業(yè)領(lǐng)域中占據(jù)著至關(guān)重要的地位,而真空腔體作為真空系統(tǒng)的首要部件,其表面處理質(zhì)量直接影響著真空系統(tǒng)的性能和可靠性。真空腔體的表面處理不僅要確保良好的氣密性、耐腐蝕性,還要盡量減少放氣和吸附等現(xiàn)象,以維持高真空環(huán)境。常見(jiàn)的真空腔體表面處理方法。清洗:溶劑清洗使用合適的有機(jī)溶劑,如乙醇等,去除真空腔體表面的油脂、污垢等污染物。這種方法簡(jiǎn)單易行,但對(duì)于一些頑固污漬果有限。酸洗利用酸性溶液,如鹽酸等,去除金屬表面的氧化物和銹跡等。需要注意調(diào)制酸液濃度和處理時(shí)間,以避免過(guò)度腐蝕。堿洗對(duì)于一些油脂類(lèi)污染物,堿洗可以起到較好的去除效果。同時(shí),堿洗也有助于改善金屬表面的微觀結(jié)構(gòu)。清洗方法的...
真空技術(shù)在現(xiàn)代科學(xué)和工業(yè)領(lǐng)域中占據(jù)著至關(guān)重要的地位,而真空腔體作為真空系統(tǒng)的首要部件,其表面處理質(zhì)量直接影響著真空系統(tǒng)的性能和可靠性。真空腔體的表面處理不僅要確保良好的氣密性、耐腐蝕性,還要盡量減少放氣和吸附等現(xiàn)象,以維持高真空環(huán)境。常見(jiàn)的真空腔體表面處理方法。清洗:溶劑清洗使用合適的有機(jī)溶劑,如乙醇等,去除真空腔體表面的油脂、污垢等污染物。這種方法簡(jiǎn)單易行,但對(duì)于一些頑固污漬果有限。酸洗利用酸性溶液,如鹽酸等,去除金屬表面的氧化物和銹跡等。需要注意調(diào)制酸液濃度和處理時(shí)間,以避免過(guò)度腐蝕。堿洗對(duì)于一些油脂類(lèi)污染物,堿洗可以起到較好的去除效果。同時(shí),堿洗也有助于改善金屬表面的微觀結(jié)構(gòu)。清洗方法的...
真空腔體:航天航空、集成電路、粒子加速、高速列車(chē)、核聚變等技術(shù)領(lǐng)域發(fā)展,對(duì)真空腔體的性能要求提升到一個(gè)新的高度。真空腔體需要滿(mǎn)足復(fù)雜結(jié)構(gòu)造型,高、低溫循環(huán),、高真空循環(huán),低泄漏、超潔凈,輻照損傷,高溫?zé)g,砂礫侵蝕,化學(xué)腐蝕等應(yīng)用條件。我國(guó)天和空間站迎來(lái)了高速建設(shè)階段,航天員長(zhǎng)期在軌停留反映了我國(guó)空間技術(shù)的發(fā)展。但是,在現(xiàn)有工業(yè)體系下,空間站的服役水平難以現(xiàn)跨越式發(fā)展,需要加強(qiáng)科技力量,取得顛覆性技術(shù)成果。粒子加速的真空管長(zhǎng)度可達(dá)幾十公里,涉及眾多學(xué)科領(lǐng)域,是超高真空和高真空技術(shù)的典型作品。作為粒子理論的研究平臺(tái),科學(xué)裝置發(fā)展了半個(gè)多世紀(jì)。除用于基礎(chǔ)研究外,加速的各種束線已廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、高分...
真空腔室相比傳統(tǒng)的火箭推進(jìn)系統(tǒng)的另一個(gè)特殊特點(diǎn)是,是通過(guò)離子推進(jìn)器只在太空或在真空中工作。因此,在開(kāi)發(fā)過(guò)程中測(cè)試離子推進(jìn)器的性能時(shí),需要?jiǎng)?chuàng)造與太空類(lèi)似的條件進(jìn)行相匹配。這就要求能夠產(chǎn)生與太空同樣壓力條件的測(cè)試系統(tǒng)。真空技術(shù)網(wǎng)()認(rèn)為這種系統(tǒng)必須能夠確保推進(jìn)器在壓力推tuido下工作時(shí),都能持續(xù)模擬太空中的環(huán)境。這造就了對(duì)真空系統(tǒng)的大體積要:試驗(yàn)艙必須大到足夠容納推進(jìn)器。干式前級(jí)泵系統(tǒng)抽速必須大于450m3/h,以便能夠在十分鐘內(nèi)形成1×10-2hPa的前級(jí)真空壓力。需要抽速約2900l/s(對(duì)于氮?dú)?和壓力的渦輪分子泵作為高真空泵系統(tǒng)。必須要能夠在不到三小時(shí)內(nèi)獲得≤1×10-6hPa的壓力。需...
真空腔使用注意事項(xiàng):1、真空腔外殼必須有效接地,以確保使用安全。2、真空腔不需連續(xù)抽氣使用時(shí),應(yīng)先關(guān)閉真空閥,再關(guān)閉真空泵電源,否則真空泵油要倒灌至腔內(nèi)。3、取出被處理物品撕,如處理的是易燃物品,必須待溫度冷卻到低于燃點(diǎn)后,才能放入空氣,以免發(fā)生氧化反應(yīng)引起燃燒。4、真空腔無(wú)防爆裝置,不得放入易爆物品干燥。5、真空腔與真空泵之間建議跨過(guò)濾器,以防止潮濕體進(jìn)真空泵。6、非必要時(shí),請(qǐng)勿隨意拆開(kāi)邊門(mén),以免損壞電器系統(tǒng)。7、本設(shè)備應(yīng)裝適用空氣開(kāi)關(guān)。8、電氣絕緣完好,設(shè)備外殼必須有可靠的保護(hù)接地或保護(hù)接零。選擇暢橋真空,享受高質(zhì)量產(chǎn)品與貼心服務(wù),讓您科研無(wú)憂。南京半導(dǎo)體真空腔體加工·超聲波拋光將工件放置...
表面改性類(lèi)方法·噴丸噴丸是一種借助丸粒高速轟擊工件表面,進(jìn)而植入殘余壓應(yīng)力,提升工件疲勞強(qiáng)度的冷加工工藝。經(jīng)噴丸處理后,工件表面的污物被清理,表面保持完整且表面積有所增加。由于加工過(guò)程中工件表面未遭破壞,加工產(chǎn)生的多余能量促使工件基體表面強(qiáng)化,同時(shí)能夠有效去除零件表面的氧化層?!娚皣娚笆抢脡嚎s空氣作為動(dòng)力源,將噴料(如銅礦砂、石英砂、金剛砂、鐵砂、海南砂等)以高速?lài)娚涫男问絿娚涞焦ぜ砻?,以此?shí)現(xiàn)對(duì)基體表面的清理與粗化。在操作時(shí),需特別注意對(duì)腔室的密封面及刀口等關(guān)鍵部位進(jìn)行妥善包裝,防止噴上沙子。具體操作流程為:首先按用戶(hù)要求,將120鉬砂子及80鉬碗按2:1的比例混合后對(duì)腔室進(jìn)行噴砂處...
真空腔體材料的幾點(diǎn)要求對(duì)真空腔體材料的主要要求如下:1一定的機(jī)械強(qiáng)度2氣密性好,不應(yīng)是多孔結(jié)構(gòu),不能有裂縫、小孔以及能造成漏氣的其他缺陷3較低的出氣率和滲透率4在工作溫度和烘烤溫度下的飽和蒸氣壓要足夠低5化學(xué)穩(wěn)定性好,不易氧化和腐蝕,不與系統(tǒng)中的工作液體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)6溫度穩(wěn)定性好,在一定溫度范圍內(nèi)能保持真空性能和機(jī)械強(qiáng)度7加工容易,有較好的焊接性能真空設(shè)備常用殼體材料有兩大類(lèi):金屬和玻璃。金屬的優(yōu)點(diǎn)是:機(jī)械強(qiáng)度好,容易實(shí)現(xiàn)高精度的加工。玻璃的優(yōu)點(diǎn)是:透明,便于觀察設(shè)備內(nèi)部情況,電絕緣,可對(duì)內(nèi)部的金屬零件用高頻加熱的方法除氣,能用高頻火花檢漏,加工方便等。玻璃的缺點(diǎn)是質(zhì)脆易碎。精湛工藝打造,細(xì)節(jié)...
·電解拋光電解拋光的基本原理與化學(xué)拋光相似,都是通過(guò)選擇性溶解材料表面微小凸出部分來(lái)使表面光滑。與化學(xué)拋光相比,電解拋光能夠消除陰極反應(yīng)的影響,效果更為出色。整個(gè)電化學(xué)拋光過(guò)程分為兩步:第一步是宏觀整平,溶解產(chǎn)物向電解液中擴(kuò)散,使材料表面幾何粗糙度下降,此時(shí)Ra>1μm;第二步是微光平整,通過(guò)陽(yáng)極極化,提高表面光亮度,使Ra<1μm。電解拋光具有諸多優(yōu)點(diǎn):一是能極大提高表面耐蝕性,由于對(duì)元素的選擇性溶出,在表面生成一層致密堅(jiān)固的富鉻固體透明膜,并形成等電式表面,有效消除和減輕微電池腐蝕;二是電解拋光后的微觀表面比機(jī)械拋光的更加平滑,反光率更高;三是不受工件尺寸和形狀的限制,對(duì)于不宜進(jìn)行機(jī)械拋光...
真空腔體:航天航空、集成電路、粒子加速、高速列車(chē)、核聚變等技術(shù)領(lǐng)域發(fā)展,對(duì)真空腔體的性能要求提升到一個(gè)新的高度。真空腔體需要滿(mǎn)足復(fù)雜結(jié)構(gòu)造型,高、低溫循環(huán),、高真空循環(huán),低泄漏、超潔凈,輻照損傷,高溫?zé)g,砂礫侵蝕,化學(xué)腐蝕等應(yīng)用條件。我國(guó)天和空間站迎來(lái)了高速建設(shè)階段,航天員長(zhǎng)期在軌停留反映了我國(guó)空間技術(shù)的發(fā)展。但是,在現(xiàn)有工業(yè)體系下,空間站的服役水平難以現(xiàn)跨越式發(fā)展,需要加強(qiáng)科技力量,取得顛覆性技術(shù)成果。粒子加速的真空管長(zhǎng)度可達(dá)幾十公里,涉及眾多學(xué)科領(lǐng)域,是超高真空和高真空技術(shù)的典型作品。作為粒子理論的研究平臺(tái),科學(xué)裝置發(fā)展了半個(gè)多世紀(jì)。除用于基礎(chǔ)研究外,加速的各種束線已廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、高分...
真空腔體:航天航空、集成電路、粒子加速、高速列車(chē)、核聚變等技術(shù)領(lǐng)域發(fā)展,對(duì)真空腔體的性能要求提升到一個(gè)新的高度。真空腔體需要滿(mǎn)足復(fù)雜結(jié)構(gòu)造型,高、低溫循環(huán),、高真空循環(huán),低泄漏、超潔凈,輻照損傷,高溫?zé)g,砂礫侵蝕,化學(xué)腐蝕等應(yīng)用條件。我國(guó)天和空間站迎來(lái)了高速建設(shè)階段,航天員長(zhǎng)期在軌停留反映了我國(guó)空間技術(shù)的發(fā)展。但是,在現(xiàn)有工業(yè)體系下,空間站的服役水平難以現(xiàn)跨越式發(fā)展,需要加強(qiáng)科技力量,取得顛覆性技術(shù)成果。粒子加速的真空管長(zhǎng)度可達(dá)幾十公里,涉及眾多學(xué)科領(lǐng)域,是超高真空和高真空技術(shù)的典型作品。作為粒子理論的研究平臺(tái),科學(xué)裝置發(fā)展了半個(gè)多世紀(jì)。除用于基礎(chǔ)研究外,加速的各種束線已廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、高分...
超高真空和高真空閥門(mén)是按照真空度范圍進(jìn)行劃分的。不同的應(yīng)用場(chǎng)景,還需要從不同維度對(duì)閥門(mén)的特征屬性進(jìn)行描述限定。高氣體壓力、強(qiáng)磁場(chǎng)、低泄漏、無(wú)顆粒(獲得的顆粒數(shù)狀態(tài))、閥板冷卻、閥體加熱、閥體導(dǎo)電、耐腐蝕、金屬粉塵、高溫照射等附加條件,對(duì)閥門(mén)性能提出了更高要求。集成電路制程領(lǐng)域的真空閥門(mén)具有典型性。VAT、MKS、VTES等公司的閥門(mén)產(chǎn)可滿(mǎn)足沉積和刻蝕真空應(yīng)用裝備的使用要求:“無(wú)顆?!碑a(chǎn)生(極少量的橡膠和金屬的顆粒)、不引起振動(dòng)(高精密傳動(dòng))、精確操控(無(wú)泄漏、流導(dǎo)調(diào)節(jié))。無(wú)顆粒閥門(mén)是真空應(yīng)用裝備的基礎(chǔ),區(qū)別于常規(guī)的真空閥門(mén):金屬閥體采用高真空釬焊和脫氫工藝;傳動(dòng)密封采用金屬波紋管;橡膠與閥板牢...
真空系統(tǒng)是一種非常特殊的系統(tǒng),其可以通過(guò)將系統(tǒng)中的氣體抽出以及添加吸附劑等方式創(chuàng)建真空環(huán)境。這種環(huán)境在各行各業(yè)中都有著普遍的應(yīng)用,尤其在高科技領(lǐng)域中得到了普遍的使用。暢橋真空小編將會(huì)討論真空系統(tǒng)在哪些行業(yè)中被普遍應(yīng)用,并且為你詳細(xì)介紹每一種應(yīng)用領(lǐng)域。生物科技領(lǐng)域:在生物科技領(lǐng)域中,真空技術(shù)也具有重要的應(yīng)用。例如,在生物實(shí)驗(yàn)中,我們需要使用真下對(duì)細(xì)胞進(jìn)行處理。在基因工程研究中,真空技術(shù)在制造過(guò)程中也起到了重要的作用。真空技術(shù)使得人們能夠更好地控制細(xì)胞中的溫度、壓力、氧氣和濕度,從而提高了實(shí)驗(yàn)成果的可靠性和精度。醫(yī)療衛(wèi)生領(lǐng)域:在醫(yī)療衛(wèi)生領(lǐng)域中,真空技術(shù)也是一項(xiàng)非常重要的技術(shù)。例如,在牙科領(lǐng)域,利用...