氦質(zhì)譜檢漏儀調(diào)氦峰步驟:1、調(diào)氦峰方法:開漏孔開關(guān),單方向(從75~165V或從165~75V)調(diào)加速電壓“V”,使氦質(zhì)譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個Zda值,然后關(guān)漏孔開關(guān),如表頭指示值變小,說明氦質(zhì)譜檢漏儀接收到氦信號,即找到氦峰;如表頭指示值不變,說明不是氦峰,則繼續(xù)調(diào)“V”,直到找到氦峰(出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間)。2、調(diào)氦峰分辨不好:①氦和重離子分辨差。②氦和輕離子分辨差。3、調(diào)氦峰信號?。孩贌艚z沒正對電離盒上的電子入口。②燈絲離電離盒太遠。③分辨不好。氦質(zhì)譜檢漏儀適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。浙江智能氦質(zhì)譜檢漏儀廠家選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題:...
氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點,是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局,被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位,因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,其靈敏度可達10-12Pam3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)。嘉興便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀價錢氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。氦質(zhì)...
在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復雜,內(nèi)部有很多管道和傳動機構(gòu),有的體積很大,達幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達幾公里,焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達數(shù)十公里,必須投人很大力量對設(shè)備嚴格進行檢漏,所以且應該從設(shè)備開始設(shè)計時起就考慮檢漏問題。如果等到進行安裝時再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。蘇州真空氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊氦質(zhì)譜檢漏儀...
氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項:1.如果儀器不是每天使用,建議每周開機檢查一下,使儀器高真空系統(tǒng)保持真空,縮短儀器使用時的開機時間2.拆卸儀器部件(如離子源)后,安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥等)進行自身檢漏,發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊,以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。(散熱口灰塵處理,和泵油的檢查更換)。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質(zhì)譜檢漏儀上,尤其是進氣口中,由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率是多少?嘉興真空氦質(zhì)譜檢漏儀價錢選擇氦質(zhì)譜...
氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設(shè)備檢漏。半導體設(shè)備及材料需要檢漏原因:1、半導體設(shè)備要求高真空,比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間,耗時耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?;驂m埃就會對晶元造成污染,對半導體的特性改變并破壞其性能,因此在半導體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏;3、一些半導體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設(shè)備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會失效。...
氦檢儀應用領(lǐng)域:工業(yè):真空爐、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器、超高真空工程。高能物理:加速器、束線、同步輻射光源??蒲蓄I(lǐng)域:空間模擬系統(tǒng)、試驗裝置、微電子、表面分析系統(tǒng)。半導體及電子:工藝設(shè)備、氣路、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件、封裝。汽車制冷:蒸發(fā)器、空調(diào)、管路。核工業(yè):核電閥門、核容器。航空航天:空間模擬器、航天器、管路。電廠:管道、蒸汽發(fā)生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比,具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬,此外氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體,所以安全可靠。為防止油污、粉塵和...
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了普遍應用。氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。氦...
氦檢儀在無源器件中的檢漏應用:無源器件檢漏原因:光無源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分,也是其它光纖應用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點。光無源器件對密封性的要求極高,如果存在泄漏會影響其使用性能和精度,光通信行業(yè)的漏率標準是小于5×10-8mbar.l/s,因此需要進行泄漏檢測。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位,定量漏點,替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏,目前已普遍應用于光無源器件的檢漏。光無源器件檢漏方法:由于無源器件體積小,且無法抽真空或直接充入氦氣,我們采用“背壓法”檢漏,具體做法如下。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐,壓力和時間根據(jù)漏率大小設(shè)定。2...
氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0,即為分子泵不工作??赡苁乔凹墘毫^高(分子泵啟動壓力為200Pa)導致分子泵不能正常啟動。2.檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,分子泵出口是否打開,機械泵油是否太臟,機械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。3.分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。4.氦泄漏檢測儀的燈絲不能...
氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點,是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局,被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位,因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,其靈敏度可達10-12Pam3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦檢儀應用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏。溫州便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點:①使用的電源電壓要在額...
氦檢儀應用領(lǐng)域:工業(yè):真空爐、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器、超高真空工程。高能物理:加速器、束線、同步輻射光源??蒲蓄I(lǐng)域:空間模擬系統(tǒng)、試驗裝置、微電子、表面分析系統(tǒng)。半導體及電子:工藝設(shè)備、氣路、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件、封裝。汽車制冷:蒸發(fā)器、空調(diào)、管路。核工業(yè):核電閥門、核容器。航空航天:空間模擬器、航天器、管路。電廠:管道、蒸汽發(fā)生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比,具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬,此外氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體,所以安全可靠。氦檢儀不只靈敏度高...
氦質(zhì)譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求:1、檢漏靈敏度高,可以檢出很小的漏孔;2、反應時間短,可以提高工作效率;3、能定位、定量,不但能夠找出漏孔的位置,還能知道漏率的大小,以便確定是否合乎質(zhì)量要求;4、能無損檢漏,不使被檢設(shè)備受到損傷和污染;5、穩(wěn)定性好,即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠;6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,無毒,不腐蝕零件;7、檢漏范圍大,從大漏孔到小漏孔都能檢測到,以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費用;8、檢漏時潔凈無油,滿足一些特殊的要求。氦檢儀的型號較多,但基本結(jié)構(gòu)大同小異。浙江分體式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項:1、工件要保持清潔、干燥。2、對工件噴氦應按以下順...
氦檢儀應用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏:調(diào)節(jié)閥又名控制閥,在現(xiàn)代化工廠的自動控制中,調(diào)節(jié)閥起著十分重要的作用,如果調(diào)節(jié)閥有漏,將會嚴重影響設(shè)備運行,進而降低整體的生產(chǎn)效率。氦檢儀成功應用于調(diào)節(jié)閥中的氣路管道檢漏,經(jīng)過檢漏后的調(diào)節(jié)閥普遍應用于電廠、生物制藥、化工等行業(yè)。調(diào)節(jié)閥檢漏,閥門氣密性測試方案是向閥門內(nèi)充入設(shè)定壓力的氦氣,如在被檢測處如閥桿等,用氦檢儀正壓法檢測,正壓法檢測的精度可充分滿足氣密性檢測要求。氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進行檢漏,檢漏標準是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同時需要提供快速,清潔的檢漏環(huán)境.采用氦檢儀正壓法模式,即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣...
氦檢儀噪聲是哪兒來的?高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲,另一個就是本底噪聲。實際上,目前通過對電子線路的改進,儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個程度,因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素,如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話,可以通過放大信號的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成,與本底的大小以及電磁場參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān),具體的包括:1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性,加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性;2、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出(如真空油脂、人造橡膠、有機絕緣材料都可以吸附和再放出氦...
氦檢儀的工作原理:氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測氣體電離,再利用電磁場將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子,主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室和電子學控制單元。氦檢儀內(nèi)部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點部分,它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測量部分。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分,分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性,氦氣的壓縮比很小,可以逆著分子泵的抽氣方向流動進入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離,氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達收集極,產(chǎn)生一個正比于離子數(shù)量的電流信號,該信號經(jīng)過放大和處理即為泄漏率。氦檢儀應用于調(diào)節(jié)閥氣...
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀的明顯優(yōu)點:1、性價比高:便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款實用的檢漏儀,可覆蓋廣大的應用領(lǐng)域,競爭性的價格及較低的使用成本,大抽速前級泵的設(shè)計,可縮短抽氣時間,提高使用效率;2、自我保護功能:在突然暴露大氣和突然斷電時具有保護功能,系統(tǒng)的逆擴散設(shè)計保護了質(zhì)譜室的清潔、真空,且不需要液氮;3、結(jié)構(gòu)靈活:可采用主機與前級泵單獨采買,前級泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵,對于便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀,既可選擇帶有連接配件的主機形式,也可選擇安裝在兩輪小車上的整體形式。氦檢儀檢漏范圍寬:不只可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。江蘇推車式氦質(zhì)譜檢漏儀哪個牌子好氦檢儀中沒有手動閥,現(xiàn)已采用自控閥自動調(diào)節(jié)運...
氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體?1、氦氣的質(zhì)量輕,易于穿過漏孔,進入系統(tǒng)時流動和擴散快,因此響應快,檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當降低對分析器制造精度的要求,使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙,從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時本底信號小。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。蘇州多功能氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺氦質(zhì)譜檢漏儀應用讓我國許多設(shè)備的運轉(zhuǎn)情況得到了更...
氦質(zhì)譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求:1、檢漏靈敏度高,可以檢出很小的漏孔;2、反應時間短,可以提高工作效率;3、能定位、定量,不但能夠找出漏孔的位置,還能知道漏率的大小,以便確定是否合乎質(zhì)量要求;4、能無損檢漏,不使被檢設(shè)備受到損傷和污染;5、穩(wěn)定性好,即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠;6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,無毒,不腐蝕零件;7、檢漏范圍大,從大漏孔到小漏孔都能檢測到,以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費用;8、檢漏時潔凈無油,滿足一些特殊的要求。氦檢儀自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。常州國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊氦檢儀是什么?氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專...
氦檢儀靈敏度高、操作便捷、低維護,使您放心得到準確可靠的測試結(jié)果。產(chǎn)品普遍應用于科研院所、航空航天、動力鋰電池,閥門、精密儀表、機械加工、電力、半導體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。氦檢儀關(guān)鍵部件均為進口,性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。氦檢儀是對比性測試儀器,其工作原理是對進入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過電流大小的判斷氦氣分子的多少!進入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有氦檢儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少,需要參照物,這個參照...
氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設(shè)備檢漏。半導體設(shè)備及材料需要檢漏原因:1、半導體設(shè)備要求高真空,比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間,耗時耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?;驂m埃就會對晶元造成污染,對半導體的特性改變并破壞其性能,因此在半導體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏;3、一些半導體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設(shè)備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會失效。...
氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠時經(jīng)過校準的在較佳條件下所能實現(xiàn)的儀器靈敏度,但平常實際使用時其靈敏度是低于該參數(shù)的,稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中,氦檢儀的檢漏方法也較多,有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式,可結(jié)合實際情況靈活運用。如較簡單常用的噴吹法,與鹵素氦檢儀的真空法類似,將被檢件抽真空,調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通,隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣,如果存在漏洞,噴吹一定時間后,氦檢儀即可發(fā)出信號。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。安徽全自動氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?1...
氦質(zhì)譜檢漏儀原理:氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理,以氦氣作為檢漏的儀器。質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振蕩,與室內(nèi)氣體碰撞,氦氣泄漏進入室內(nèi),電離成正離子,正離子在加速電場的作用下進入人體磁場,當洛倫茲力效應偏轉(zhuǎn)時,電弧形成,加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統(tǒng)等先進方向發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀能夠?qū)崿F(xiàn)雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。無錫模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀...
氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點:①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),電壓過低儀器啟動困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過高會燒壞電源,嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵,應連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中,若搬動氦檢儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦檢儀應按照說明書的要求定期進行保養(yǎng),保養(yǎng)的項目有更換機械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。④氦檢儀在運行了2000h后應對前級泵進行維修和保養(yǎng),運行7000h分子泵進行維護和保養(yǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。紹興自動氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導氦質(zhì)譜檢漏儀應用讓我國許多設(shè)備的運...
在使用氦檢儀時要如何保養(yǎng)?①如果儀器不是每天都使用,建議每周啟動并檢查一次,以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài),在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動時間。②儀器部件(如離子源)拆卸后,安裝過程中應避免在安裝現(xiàn)場發(fā)生泄漏,儀器可用于泄漏檢測。③及時對泄漏處(如放氣閥等)進行自檢。)可能出現(xiàn)在儀器上,并在發(fā)現(xiàn)泄漏點后及時移除、清潔或緊固,以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。④氦檢儀維護定期維護油泵。(散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換)⑤嚴禁在氦檢儀上,尤其是進氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器,其儲存和使用環(huán)境應保持清潔衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓或合格的設(shè)備維護工程師才能使用該儀器。⑥使用時...
氦檢儀應用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏:調(diào)節(jié)閥又名控制閥,在現(xiàn)代化工廠的自動控制中,調(diào)節(jié)閥起著十分重要的作用,如果調(diào)節(jié)閥有漏,將會嚴重影響設(shè)備運行,進而降低整體的生產(chǎn)效率。氦檢儀成功應用于調(diào)節(jié)閥中的氣路管道檢漏,經(jīng)過檢漏后的調(diào)節(jié)閥普遍應用于電廠、生物制藥、化工等行業(yè)。調(diào)節(jié)閥檢漏,閥門氣密性測試方案是向閥門內(nèi)充入設(shè)定壓力的氦氣,如在被檢測處如閥桿等,用氦檢儀正壓法檢測,正壓法檢測的精度可充分滿足氣密性檢測要求。氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進行檢漏,檢漏標準是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同時需要提供快速,清潔的檢漏環(huán)境.采用氦檢儀正壓法模式,即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣...
氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項:1.如果儀器不是每天使用,建議每周開機檢查一下,使儀器高真空系統(tǒng)保持真空,縮短儀器使用時的開機時間2.拆卸儀器部件(如離子源)后,安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥等)進行自身檢漏,發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊,以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。(散熱口灰塵處理,和泵油的檢查更換)。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質(zhì)譜檢漏儀上,尤其是進氣口中,由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽...
影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些?氦檢儀檢漏時,產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括8個方面:第1,氦檢儀在校準靈敏度時,標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標準漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會導致經(jīng)二者進入氦檢儀的氦氣量可比性差。第二,進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導致無法換算,這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。第三,所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。第四,氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五,校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時,所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七,氦氣純度不...
氦檢儀應用領(lǐng)域:工業(yè):真空爐、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器、超高真空工程。高能物理:加速器、束線、同步輻射光源??蒲蓄I(lǐng)域:空間模擬系統(tǒng)、試驗裝置、微電子、表面分析系統(tǒng)。半導體及電子:工藝設(shè)備、氣路、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件、封裝。汽車制冷:蒸發(fā)器、空調(diào)、管路。核工業(yè):核電閥門、核容器。航空航天:空間模擬器、航天器、管路。電廠:管道、蒸汽發(fā)生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比,具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬,此外氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體,所以安全可靠。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多...
氦質(zhì)譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理:一、機械維護,檢查泵的油量,如果低于低標線,則加入泵油;如果變黑或渾濁,則更換泵。使用方法見機械泵說明書。二、清洗,泄漏探測器沒有氦進入,但有一定的泄漏率指示,長期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣,在檢漏時又被釋放,造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進入氦質(zhì)譜檢漏儀,在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過濾器,將其拆下,用酒精浸泡清洗。檢查泄漏,用棉布擦拭波紋管。三、以下是常見的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電:1.電源線連接不當;2、保險管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規(guī)格的保險管。氦質(zhì)譜檢漏儀適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的...
氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min,即在儀器處于較佳工作條件下,以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體,進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到穩(wěn)定值,被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時,才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲,一般指在2min內(nèi)輸出儀表的較大的波動量,能較方便地估計檢漏效果。氦檢儀噴氦法檢測靈敏度高,可精確定位。浙江氦質(zhì)譜檢漏儀哪家...