接下來是單晶硅生長，**常用的方法叫直拉法（CZ法）。如下圖所示，高純度的多晶硅放在石英坩堝中，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱，溫度維持在大約1400 ℃，爐中的氣體通常是惰性氣體，使多晶硅熔化，同時又不會產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng)。為了形成單晶硅，還需要控制晶體...

9)模糊與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制。是一種語言控制器,可反映人在進行控制活動時的思維特點。其主要特點之一是控制系統(tǒng)設(shè)計并不需要通常意義上的被控對象的數(shù)學(xué)模型,而是需要操作者或**的經(jīng)驗知識,操作數(shù)據(jù)等。[3]研究意義與剛性機械臂相比較,柔性機械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載...

年來全球硅晶圓供給不足，導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達2019上半年和年底。目前國內(nèi)多個硅晶圓項目已經(jīng)開始籌備，期望有朝一日能夠打破進口依賴，并有足夠的能力滿足市場需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可...

機械制造領(lǐng)域?qū)Σ牧系膹姸取⒂捕群湍湍バ砸蠛芨?，而精密結(jié)構(gòu)陶瓷正好具備這些特性。在機械密封件、刀具、軸承等關(guān)鍵部件中，采用精密結(jié)構(gòu)陶瓷可以提高設(shè)備的可靠性和使用壽命。例如，陶瓷刀具具有極高的硬度和耐磨性，能夠在高速切削加工中保持鋒利的切削刃，提高加工效率和質(zhì)量...

技術(shù)實現(xiàn)要素： 本實用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低。 為了解決上述問題，本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承...

受歐美股指隔夜再度全線殺跌的影響，兩市**小幅低開，低開后的市場在抄底盤和北上資金的推動下震蕩走高，早間收盤全線收漲，午后在科技板塊的帶動下市場繼續(xù)震蕩走高，**終兩市**以中陽報收。 昨天談到農(nóng)業(yè)、大消費和科技股目前呈現(xiàn)出蹺蹺板的態(tài)勢...

環(huán)境決定”——技術(shù)發(fā)展導(dǎo)致其實，除了晶圓的生長方法決定的“晶圓”是圓形的這個原因之外，還有以下3條其他的決定因素：2??有人計算過，比較直徑為L毫米的圓和邊長為L毫米的正方形，考慮晶圓制造過程中邊緣5到8毫米是不可利用的，算算就知道正方形浪費的使用...

4、Al-SiO2法 Al-SiO2法是目前制備氧化鋁陶瓷中采用**多的方法。該方法將Al金屬和SiO2粉體混合均勻后，在Ar氣條件下進行反應(yīng)，反應(yīng)溫度一般為1300～1500 ℃ ，反應(yīng)時間為2～4h，制備得到氧化鋁陶瓷。 Al-SiO2...

精密陶瓷結(jié)構(gòu)件結(jié)構(gòu)陶瓷是以強度、剛度、韌 抄性、耐磨性、硬度、疲勞強度等力學(xué)性能為特征的材料。納米陶瓷的超塑性在電子、磁性、光學(xué)以及 生物陶瓷方面有潛在應(yīng)用。納米陶瓷可能具有的低溫超塑性、延展性和很高的斷裂韌性，將使其成為兼具陶瓷和金屬的優(yōu)良特性(如高硬度...

電子信息產(chǎn)業(yè)也是精密結(jié)構(gòu)陶瓷的重要應(yīng)用領(lǐng)域之一。隨著電子設(shè)備的不斷小型化、集成化和高性能化，對材料的要求也越來越高。精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有良好的絕緣性能、高頻特性和熱穩(wěn)定性，能夠滿足電子元件在高頻、高溫、高功率等條件下的工作要求。例如，在集成電路的封裝材料中，采用精...

出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機械臂的構(gòu)造模塊。TO-DOM由兩個旋轉(zhuǎn)模塊及一個連接模塊共三個基本模塊組成。根據(jù)空間機械臂的具體構(gòu)型需要,將TODOM的三個基本模塊之間的機械接口進行專門設(shè)計,即可配置成確定構(gòu)型的二自由...

(7)堇青石、鈦酸鋁材料，其特點是熱膨脹系數(shù)小，因而***用于熱沖擊環(huán)境。添加劑(1)助熔劑陶瓷助熔劑的主要作用是降低燒成溫度，增加液相，擴大燒成范圍，提高坯體的力學(xué)強度和化學(xué)穩(wěn)定性。常用的助熔劑有長石、珍珠巖、滑石、蛇紋石、硅灰石、石灰石、白云石...

6)自適應(yīng)控制。采用組合自適應(yīng)控制將系統(tǒng)劃分成關(guān)節(jié)子系統(tǒng)和柔性子系統(tǒng)。利用參數(shù)線性化的方法設(shè)計自適應(yīng)控制規(guī)則來辨識柔性機械臂的不確定性參數(shù)。對具有非線性和參數(shù)不確定性的柔性機械臂進行了**控制器的設(shè)計。控制器的設(shè)計是依據(jù)Lyapunov方法的魯棒和...

吸音材料多孔陶瓷具有連通開氣孔，當(dāng)聲波傳入時，在很小的氣孔內(nèi)受力振蕩。振動受到的摩擦和阻礙，使聲波傳播受到***，導(dǎo)致聲音衰減，從而起到吸音的作用。是一種消除噪聲公害，益于人們身心健康的好材料。作為吸音材料的多孔陶瓷要求較小的孔徑(20～150/u...

為圓柱的單晶硅晶錠更便于運輸，有效的避免了在運輸途中磕碰損壞，邊角碎掉什么的造成材料損耗。而且，請仔細(xì)回想一下，你看到的晶圓是完全的圓的嗎？非也！在硅棒做出來后，在200mm以下的硅棒上是切割一個平角，叫Flat。在200mm（含）以上硅棒上，為了...

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。 背景技術(shù)： 在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨...

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，...

氧化鋯陶瓷是具有獨特的物理和化學(xué)性質(zhì)，如高硬度，低的熱傳導(dǎo)性，熔點高，抗高溫和腐蝕，化學(xué)惰性和兩性性質(zhì)，在電子陶瓷、功能陶瓷和結(jié)構(gòu)陶瓷等方面的應(yīng)用迅速發(fā)展。作為特種陶瓷材料在電子、航天、航空和核工業(yè)等高新技術(shù)領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。然而氧化鋯陶瓷材料的致命缺點...

場景是新技術(shù)應(yīng)用中的重要一環(huán)，場景越多意味著應(yīng)用的廣大性和未來的期望空間越大，而如果一款技術(shù)誕生沒有實際的應(yīng)用場景，即無法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中，這對它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。 機械手臂的應(yīng)用場景有哪些呢？它的應(yīng)用特點十分明顯，主要代替人工從...

與剛性機械臂相比較，柔性機械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性，因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率，其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確，有著很多潛在的優(yōu)點，在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位。隨著宇航業(yè)及機器人業(yè)的飛速發(fā)展，越來越多地采用由若干個柔性構(gòu)件...

離子交換法層狀硅酸納晶體與十八烷基三甲基溴化銨在水中充分混合,硅酸鹽層間的陽離子與銨鹽陽離子將自發(fā)地進行交換,由于銨鹽離子體積較大,硅酸鹽的片層結(jié)構(gòu)會因銨鹽的引入而發(fā)生彎曲變形,彎曲的片層之間發(fā)生縮聚,將有機物包圍在片層當(dāng)中,經(jīng)高溫?zé)Y(jié)除去有機物,...

2、工業(yè)高溫窯爐 氧化鋁陶瓷具有優(yōu)異的耐高溫、熱穩(wěn)定性好、熱導(dǎo)率低、熱容小、耐機械振動等性能，導(dǎo)熱系數(shù)和容重分別只有傳統(tǒng)耐火材料的1/10和1/15，綜合性能好，是理想的節(jié)能增效耐火材料，用于工作溫度高于1400 ℃的鋼鐵工業(yè)各種熱處理爐...

(4)致孔劑 加入致孔劑是為了提高陶瓷的氣孔率、擴大比表面積。致孔劑主要有天然有機細(xì)粉、煤粉、石灰石、白云石、燒沸石、珍珠巖、浮石等。一般來講，增加致孔劑的用量可以提高陶瓷的氣孔率，但是會引起陶瓷強度下降，因此必須控制致孔劑的添加比例。以石灰石和白云...

有機泡沫浸漬工藝 有機泡沫浸漬法是用有機泡沫浸漬陶瓷漿料，干燥后燒掉有機泡沫，獲得多孔陶瓷的一種方發(fā)泡工藝法。該法適于制備高氣孔率、開口氣孔的多孔陶瓷。這種方法制備的泡沫陶瓷是目前**主要的多孔陶瓷之一。 溶膠－凝膠工藝 溶膠- 凝膠工藝主...

晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，晶圓的搬運技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運機械手是IC裝備的**之一，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量，體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運機械...

可選地，所述托板包括： 主板； 排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接； 所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊。 ...

材質(zhì) (1)高硅質(zhì)硅酸鹽材料，它主要以硬質(zhì)瓷渣、耐酸陶瓷渣及其他耐酸的合成陶瓷顆粒為骨料，具有耐水性、耐酸性，使用溫度達700℃。 (2)鋁硅酸鹽材料，它以耐火粘土熟料、燒礬土、硅線石和合成莫來石顆粒為骨料。具有耐酸性和耐弱堿性，使用溫度達1 ...

(6)分散劑 為了提高漿料的固含量，無論是水基體系還是非水基體系均需加入分散劑。分散劑可以提高漿料的穩(wěn)定性，阻止顆粒再團聚，進而提高漿料的固含量。 (7)消泡劑和表面活性劑 為了防止?jié){料在浸漬和擠出多余漿料的過程中起泡而影響制品的性能，需...

2、濕氫法 濕氫法是將Al 粉置于Al2O3中，在適當(dāng)?shù)奈恢梅湃雴尉l2O3以誘導(dǎo)陶瓷生長，放入管式爐內(nèi)，在濕氫氣氛下加熱至1400℃，保持2h，濕氫**控制為-30℃。通過控制氫氣**起到對其中水蒸氣含量的控制，制備得到的氧化鋁陶瓷。 濕氫...

2、工業(yè)高溫窯爐 氧化鋁陶瓷具有優(yōu)異的耐高溫、熱穩(wěn)定性好、熱導(dǎo)率低、熱容小、耐機械振動等性能，導(dǎo)熱系數(shù)和容重分別只有傳統(tǒng)耐火材料的1/10和1/15，綜合性能好，是理想的節(jié)能增效耐火材料，用于工作溫度高于1400 ℃的鋼鐵工業(yè)各種熱處理爐...