光刻模型包含光學(xué)模型和光刻膠模型,其中光刻膠模型描述了光刻膠曝光顯影過程中發(fā)生的物理化學(xué)反應(yīng)[1]。光刻膠模型可以為光刻膠的研發(fā)和光刻工藝的優(yōu)化提供指導(dǎo)。然而,由于模型中許多參數(shù)不可直接測量或測量較為困難,通常采用實(shí)際曝光結(jié)果來校準(zhǔn)模型,即光刻膠模型的校準(zhǔn)[2]。鑒于模型校準(zhǔn)的必要性,業(yè)界通常需要花費(fèi)大量精力用于模型校準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)與結(jié)果,如圖1所示 [3]。光刻膠模型的校準(zhǔn)的具體流程如圖2所示 [2]。光刻膠模型校準(zhǔn)主要包含四個(gè)部分:實(shí)驗(yàn)條件的對標(biāo)、光刻膠形貌的測量、模型校準(zhǔn)、模型驗(yàn)證。由于模型檢測可以自動執(zhí)行,并能在系統(tǒng)不滿足性質(zhì)時(shí)提供反例路徑,因此在工業(yè)界比演繹證明更受推崇。徐匯區(qū)銷售驗(yàn)證模型訂制價(jià)格
留一交叉驗(yàn)證(LOOCV):這是K折交叉驗(yàn)證的一種特殊情況,其中K等于樣本數(shù)量。每次只留一個(gè)樣本作為測試集,其余作為訓(xùn)練集。這種方法適用于小數(shù)據(jù)集,但計(jì)算成本較高。自助法(Bootstrap):通過有放回地從原始數(shù)據(jù)集中抽取樣本來構(gòu)建多個(gè)訓(xùn)練集和測試集。這種方法可以有效利用小樣本數(shù)據(jù)。三、驗(yàn)證過程中的注意事項(xiàng)數(shù)據(jù)泄露:在模型訓(xùn)練和驗(yàn)證過程中,必須確保訓(xùn)練集和測試集之間沒有重疊,以避免數(shù)據(jù)泄露導(dǎo)致的性能虛高。選擇合適的評估指標(biāo):根據(jù)具體問題選擇合適的評估指標(biāo),如分類問題中的準(zhǔn)確率、召回率、F1-score等,回歸問題中的均方誤差(MSE)、均方根誤差(RMSE)等。嘉定區(qū)正規(guī)驗(yàn)證模型咨詢熱線數(shù)據(jù)分布一致性:確保訓(xùn)練集、驗(yàn)證集和測試集的數(shù)據(jù)分布一致,以反映模型在實(shí)際應(yīng)用中的性能。
交叉驗(yàn)證:交叉驗(yàn)證是一種常用的內(nèi)部驗(yàn)證方法,它將數(shù)據(jù)集拆分為多個(gè)相等大小的子集,然后重復(fù)進(jìn)行模型構(gòu)建和驗(yàn)證的步驟。每次選用其中的一個(gè)子集用于評估模型性能,其他所有的子集用來構(gòu)建模型。這種方法可以確保模型驗(yàn)證時(shí)使用的數(shù)據(jù)是模型擬合過程中未使用的數(shù)據(jù),從而提高驗(yàn)證的可靠性。Bootstrapping法:在這種方法中,原始數(shù)據(jù)集被隨機(jī)抽樣數(shù)百次(有放回)用來創(chuàng)建相同大小的多個(gè)數(shù)據(jù)集。然后,在這些數(shù)據(jù)集上分別構(gòu)建模型并評估性能。這種方法可以提供對模型性能的穩(wěn)健估計(jì)。
模型檢測(model checking),是一種自動驗(yàn)證技術(shù),由Clarke和Emerson以及Quelle和Sifakis提出,主要通過顯式狀態(tài)搜索或隱式不動點(diǎn)計(jì)算來驗(yàn)證有窮狀態(tài)并發(fā)系統(tǒng)的模態(tài)/命題性質(zhì)。由于模型檢測可以自動執(zhí)行,并能在系統(tǒng)不滿足性質(zhì)時(shí)提供反例路徑,因此在工業(yè)界比演繹證明更受推崇。盡管限制在有窮系統(tǒng)上是一個(gè)缺點(diǎn),但模型檢測可以應(yīng)用于許多非常重要的系統(tǒng),如硬件控制器和通信協(xié)議等有窮狀態(tài)系統(tǒng)。很多情況下,可以把模型檢測和各種抽象與歸納原則結(jié)合起來驗(yàn)證非有窮狀態(tài)系統(tǒng)(如實(shí)時(shí)系統(tǒng))。通過嚴(yán)格的模型驗(yàn)證過程,可以提高模型的準(zhǔn)確性和可靠性,為實(shí)際應(yīng)用提供有力的支持。
模型驗(yàn)證是機(jī)器學(xué)習(xí)和統(tǒng)計(jì)建模中的一個(gè)重要步驟,旨在評估模型的性能和可靠性。通過模型驗(yàn)證,可以確保模型在未見數(shù)據(jù)上的泛化能力。以下是一些常見的模型驗(yàn)證方法和步驟:數(shù)據(jù)劃分:訓(xùn)練集:用于訓(xùn)練模型。驗(yàn)證集:用于調(diào)整模型參數(shù)和選擇模型。測試集:用于**終評估模型性能,確保模型的泛化能力。交叉驗(yàn)證:k折交叉驗(yàn)證:將數(shù)據(jù)集分成k個(gè)子集,輪流使用每個(gè)子集作為驗(yàn)證集,其余作為訓(xùn)練集。**終結(jié)果是k次驗(yàn)證的平均性能。留一交叉驗(yàn)證:每次只留一個(gè)樣本作為驗(yàn)證集,其余樣本作為訓(xùn)練集,適用于小數(shù)據(jù)集??梢杂行У仳?yàn)證模型的性能,確保其在未見數(shù)據(jù)上的泛化能力。嘉定區(qū)正規(guī)驗(yàn)證模型咨詢熱線
通過網(wǎng)格搜索、隨機(jī)搜索等方法調(diào)整模型的超參數(shù),找到在驗(yàn)證集上表現(xiàn)參數(shù)組合。徐匯區(qū)銷售驗(yàn)證模型訂制價(jià)格
交叉驗(yàn)證有時(shí)也稱為交叉比對,如:10折交叉比對 [2]。Holdout 驗(yàn)證常識來說,Holdout 驗(yàn)證并非一種交叉驗(yàn)證,因?yàn)閿?shù)據(jù)并沒有交叉使用。 隨機(jī)從**初的樣本中選出部分,形成交叉驗(yàn)證數(shù)據(jù),而剩余的就當(dāng)做訓(xùn)練數(shù)據(jù)。 一般來說,少于原本樣本三分之一的數(shù)據(jù)被選做驗(yàn)證數(shù)據(jù)。K-fold cross-validationK折交叉驗(yàn)證,初始采樣分割成K個(gè)子樣本,一個(gè)單獨(dú)的子樣本被保留作為驗(yàn)證模型的數(shù)據(jù),其他K-1個(gè)樣本用來訓(xùn)練。交叉驗(yàn)證重復(fù)K次,每個(gè)子樣本驗(yàn)證一次,平均K次的結(jié)果或者使用其它結(jié)合方式,**終得到一個(gè)單一估測。這個(gè)方法的優(yōu)勢在于,同時(shí)重復(fù)運(yùn)用隨機(jī)產(chǎn)生的子樣本進(jìn)行訓(xùn)練和驗(yàn)證,每次的結(jié)果驗(yàn)證一次,10折交叉驗(yàn)證是**常用的 [3]。徐匯區(qū)銷售驗(yàn)證模型訂制價(jià)格
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