電子探針(Electron Probe Microanalysis)是一種利用電子束作用樣品后產(chǎn)生的特征X射線進(jìn)行微區(qū)成分分析的儀器, [1]可以用來(lái)分析薄片中礦物微區(qū)的化學(xué)組成。除H、He、Li、Be等幾個(gè)較輕元素外,還有U元素以后的元素以外都可進(jìn)行定性和定量分析。電子探針的大批量是利用經(jīng)過(guò)加速和聚焦的極窄的電子束為探針,激發(fā)試樣中某一微小區(qū)域,使其發(fā)出特征X射線,測(cè)定該X射線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度,即可對(duì)該微區(qū)的元素作定性或定量分析。電子探針顯微分析原理及其發(fā)展的初期是建立在X射線光譜分析和電子顯微鏡這兩種技術(shù)基礎(chǔ)上的,該儀器實(shí)質(zhì)上就是這兩種儀器的科學(xué)組合。背散射電子圖像系統(tǒng)。金山區(qū)品牌探針五星服務(wù)
2)X射線能譜分析法。無(wú)須分析晶體,而直接將探測(cè)器接收的訊號(hào)加以放大,進(jìn)行脈沖幅度分析,通過(guò)選擇不同的脈沖幅度來(lái)確定入射x射線的能量,從而區(qū)分不同的特征X射線。計(jì)算時(shí)應(yīng)用布拉格方程:nλ=2dsinθ。 [2]1、能進(jìn)行微區(qū)分析。可分析數(shù)個(gè)μm3內(nèi)元素的成分。2、能進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)分析。無(wú)需把分析對(duì)象從樣品中取出,可直接對(duì)大塊試樣中的微小區(qū)域進(jìn)行分析。把電子顯微鏡和電子探針結(jié)合,可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯(lián)系起來(lái)。3、分析范圍廣。Z>4其中,波譜:Be~U,能譜:Na~U。靜安區(qū)品牌探針生產(chǎn)廠家近年來(lái)半導(dǎo)體制程技術(shù)突飛猛進(jìn),超前摩爾定律預(yù)估法則好幾年,現(xiàn)階段已向7奈米以下挺進(jìn)。
(1)電子光學(xué)系統(tǒng)。電子束直徑0.1~1μm,電子束穿透深度1~3μm。被激發(fā)原子發(fā)射特征X射線譜過(guò)程如下:圍繞原子核運(yùn)動(dòng)的內(nèi)層電子,被電子束的電子轟擊后,其他外層電子為補(bǔ)充轟擊出的電子而發(fā)生躍遷,在躍遷過(guò)程中釋放出能量,即發(fā)射出X射線。(2)X射線譜儀。測(cè)量各種元素產(chǎn)生的X射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度,并以此對(duì)微小體積中所含元素進(jìn)行定性和定量分析。特征X射線圖像顯像管的原理是:X射線束入射到一已知晶面間距的晶體上(X射線分光光度計(jì)的彎曲晶體上),經(jīng)衍射后各種波長(zhǎng)的X射線按不同的布拉格角彼此分開(kāi),因此如轉(zhuǎn)動(dòng)晶體,改變衍射角,同時(shí)以兩倍于晶體的轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動(dòng)計(jì)數(shù)器,就可以依次測(cè)量出各種元素所產(chǎn)生的X射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度,達(dá)到定性和定量分析的目的。
電子探針儀(圖1)主要包括:探針形成系統(tǒng) (電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)和顯示、記錄系統(tǒng)、樣品室、高壓電源和掃描系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。電子探針的**早應(yīng)用領(lǐng)域是金屬學(xué)。對(duì)合金中各組成相、夾雜物等可作定性和定量分析,直觀而方便,還能較準(zhǔn)確地測(cè)定元素的擴(kuò)散和偏析情況。此外,它還可用于研究金屬材料的氧化和腐蝕問(wèn)題,測(cè)定薄膜、滲層或鍍層的厚度和成分等,是機(jī)械構(gòu)件失效分析、生產(chǎn)工藝的選擇、特殊用材的剖析等的重要手段。圖2為鎂合金中稀土氧化物在晶界析出的電子探針?lè)治稣掌?。它的作用是選擇和確定分析點(diǎn)。
電子探針可以對(duì)試樣中微小區(qū)域(微米級(jí))的化學(xué)組成進(jìn)行定性或定量分析??梢赃M(jìn)行點(diǎn)、線掃描(得到層成分分布信息)、面掃描分析(得到成分面分布圖像)。還能全自動(dòng)進(jìn)行批量(預(yù)置9999測(cè)試點(diǎn))定量分析。由于電子探針技術(shù)具有操作迅速簡(jiǎn)便(相對(duì)復(fù)雜的化學(xué)分析方法而言)、實(shí)驗(yàn)結(jié)果的解釋直截了當(dāng)、分析過(guò)程不損壞樣品、測(cè)量準(zhǔn)確度較高等優(yōu)點(diǎn),故在冶金、地質(zhì)、電子材料、生物、醫(yī)學(xué)、考古以及其它領(lǐng)域中得到日益***地應(yīng)用,是礦物測(cè)試分析和樣品成分分析的重要工具。X射線譜儀。測(cè)量各種元素產(chǎn)生的X射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度,并以此對(duì)微小體積中所含元素進(jìn)行定性和定量分析。靜安區(qū)品牌探針生產(chǎn)廠家
當(dāng)某一X射線光子進(jìn)入計(jì)數(shù)管后,管內(nèi)氣體電離,并在電場(chǎng)作用下產(chǎn)生電脈沖信號(hào)。金山區(qū)品牌探針五星服務(wù)
體外轉(zhuǎn)錄技術(shù)不斷完善,已相繼建立了單向和雙向體外轉(zhuǎn)錄系統(tǒng)。該系統(tǒng)主要基于一類新型載體pSP和pGEM,這類載體在多克隆位點(diǎn)兩側(cè)分別帶有SP6啟動(dòng)子和T7啟動(dòng)子,在SP6RNA聚合酶或T7RNA聚合酶作用下可以進(jìn)行RNA轉(zhuǎn)錄,如果在多克隆位點(diǎn)接頭中插入了外源DNA片段,則可以此DNA兩條鏈中的一條為模板轉(zhuǎn)錄生成RNA。這種體外轉(zhuǎn)錄反應(yīng)效率很高,在1h內(nèi)可合成近10μg的RNA產(chǎn)生,只要在底物中加入適量的放射性或生物素標(biāo)記的NTP,則所合成的RNA可得到高效標(biāo)記。該方法能有效地控制探針的長(zhǎng)度并可提高標(biāo)記物的利用率。金山區(qū)品牌探針五星服務(wù)
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