四氟化碳_CF4氣體_高純四氟化碳?xì)怏w廠家直銷【宏錦化工】
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別名:四氟甲烷、Freon-14、R 14、全氟甲烷
化學(xué)式:CF4
CAS:75-73-0
外觀:無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體
應(yīng)用:用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體及制冷劑
產(chǎn)地:四川
品牌:宏錦化工
純度:99.999%
包裝:47L
氣體含量:30公斤
服務(wù):可按客戶需求配置其他鋼瓶包裝
銷售及配送范圍:全國
其他各種純度、鋼瓶包裝均有售賣,可按照客戶的要求配置。
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性質(zhì)與穩(wěn)定性
常溫常壓下穩(wěn)定,避免強(qiáng)氧化劑、易燃或可燃物。不燃?xì)怏w,遇高熱后容器內(nèi)壓增大,有開裂、baozha危險(xiǎn)?;瘜W(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不燃。常溫下只有液氨-金屬鈉試劑能發(fā)生作用。
操作注意事項(xiàng)
密閉操作,全mian通風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn),嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
儲存注意事項(xiàng)
儲存于陰涼、通風(fēng)的不燃?xì)怏w專yong庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易(可)燃物、氧化劑分開存放,切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
運(yùn)輸注意事項(xiàng)
采用鋼瓶運(yùn)輸時(shí)必須戴好鋼瓶上的安全帽、鋼瓶一般平放,并應(yīng)將瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超過車輛的防護(hù)欄板,并用三角木墊卡牢、防止?jié)L動。嚴(yán)禁與易燃物或可燃物、氧化劑等混裝混運(yùn)。夏季應(yīng)早晚運(yùn)輸,防止日光曝曬。鐵路運(yùn)輸時(shí)要禁止溜放。
用途
1.用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體,用于低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。
2.是微電子工業(yè)中用量蕞大的等離子蝕刻氣體,四氟甲烷高純氣及四氟甲烷高純氣、高純氧的混合氣,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
3.用作低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術(shù)。