應用場景
半導體集成電路（IC）制造：
邏輯芯片（CPU/GPU）：在28nm以下制程中，正性DUV/EUV膠用于晶體管、互連布線的精細圖案化（如10nm節(jié)點線寬只有100nm）。
存儲芯片（DRAM/NAND）：3D堆疊結(jié)構中，正性膠用于層間接觸孔（Contact）和柵極（Gate）的高深寬比圖形（深寬比＞10:1）。
平板顯示（LCD/OLED）：
彩色濾光片（CF）：制作黑矩陣（BM）和彩色層（R/G/B），要求高透光率和邊緣銳利度（線寬5-10μm）。
OLED電極：在柔性基板上形成微米級透明電極，需低應力膠膜防止基板彎曲變形。
印刷電路板（PCB）：
高密度互連（HDI）：用于細線路（線寬/線距≤50μm），如智能手機主板，相比負性膠，正性膠可實現(xiàn)更精細的線路邊緣。
微納加工與科研：
MEMS傳感器：制作微米級懸臂梁、齒輪等結(jié)構，需耐干法蝕刻的正性膠（如含硅樹脂膠）。
納米光刻：電子束光刻膠（正性為主）用于研發(fā)級納米圖案（分辨率＜10nm）。
吉田技術自主化與技術領域突破！成都厚膜光刻膠工廠
吉田半導體的光刻膠產(chǎn)品覆蓋芯片制造、顯示面板、PCB 及微納加工等領域，通過差異化技術（如納米壓印、厚膜工藝）和環(huán)保特性（水性配方），滿足從傳統(tǒng)電子到新興領域（如第三代半導體、Mini LED）的多樣化需求。其產(chǎn)品不僅支持高精度、高可靠性的制造工藝，還通過材料創(chuàng)新推動行業(yè)向綠色化、低成本化方向發(fā)展。吉田半導體光刻膠的優(yōu)勢在于技術全面性、環(huán)保創(chuàng)新、質(zhì)量穩(wěn)定性及本土化服務，尤其在納米壓印、厚膜工藝及水性膠領域形成差異化競爭力。
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定義與特性
正性光刻膠是一種在曝光后，曝光區(qū)域會溶解于顯影液的光敏材料，形成與掩膜版（Mask）圖案一致的圖形。與負性光刻膠（未曝光區(qū)域溶解）相比，其優(yōu)勢是分辨率高、圖案邊緣清晰，是半導體制造（尤其是制程）的主流選擇。
化學組成與工作原理
主要成分
樹脂（成膜劑）：
傳統(tǒng)正性膠：采用**酚醛樹脂（Novolak）與重氮萘醌（DNQ，光敏劑）**的復合體系（PAC體系），占比約80%-90%。
化學增幅型（用于DUV/EUV）：含環(huán)化烯烴樹脂或含氟聚合物，搭配光酸發(fā)生器（PAG），通過酸催化反應提高感光度和分辨率。
溶劑：溶解樹脂和感光劑，常用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）或乳酸乙酯。
添加劑：表面活性劑（改善涂布均勻性）、穩(wěn)定劑（防止暗反應）、堿溶解度調(diào)節(jié)劑等。
工作原理
曝光前：光敏劑（如DNQ）與樹脂結(jié)合，形成不溶于堿性顯影液的復合物。
曝光時：
傳統(tǒng)PAC體系：DNQ在紫外光（G線436nm、I線365nm）照射下發(fā)生光分解，生成羧酸，使曝光區(qū)域樹脂在堿性顯影液中溶解性增強。
化學增幅型：PAG在DUV/EUV光下產(chǎn)生活性酸，催化樹脂發(fā)生脫保護反應，大幅提高顯影速率（靈敏度提升10倍以上）。
顯影后：曝光區(qū)域溶解去除，未曝光區(qū)域保留，形成正性圖案。
在半導體材料領域，廣東吉田半導體材料有限公司憑借 23 年技術沉淀，已成為國內(nèi)光刻膠行業(yè)的企業(yè)。公司產(chǎn)品線覆蓋正性、負性、厚膜、納米壓印等多類型光刻膠，廣泛應用于芯片制造、LCD 顯示、PCB 電路板等領域。
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技術：自主研發(fā)的光刻膠產(chǎn)品具備高分辨率（如 JT-3001 厚板光刻膠）、高感光度（如 JT-1000 負性光刻膠）及抗深蝕刻性能，部分指標達到水平。
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嚴苛品控：生產(chǎn)過程嚴格遵循 ISO9001 體系，材料進口率 100%，并通過 8S 現(xiàn)場管理確保制程穩(wěn)定性。
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定制化服務：支持客戶需求定制，例如為特殊工藝開發(fā)光刻膠，滿足多樣化場景需求。
公司位于松山湖開發(fā)區(qū)，依托產(chǎn)業(yè)園區(qū)資源，持續(xù)加大研發(fā)，與科研機構合作推動技術升級。目前，吉田半導體已服務全球數(shù)千家客戶，以 “匠心品質(zhì)、售后無憂” 的理念贏得市場口碑。
感光膠的工藝和應用。
國家戰(zhàn)略支持
《國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金三期規(guī)劃》將光刻膠列為重點投資領域，計劃投入超500億元支持研發(fā)。工信部對通過驗證的企業(yè)給予稅收減免和設備采購補貼，單家企業(yè)比較高補貼可達研發(fā)投入的30%。
地方產(chǎn)業(yè)協(xié)同
濟南設立寬禁帶半導體產(chǎn)業(yè)專項基金，深圳國際半導體光刻膠產(chǎn)業(yè)展覽會（2025年4月）吸引全球300余家企業(yè)參展，推動技術交流。
資本助力產(chǎn)能擴張
恒坤新材通過科創(chuàng)板IPO募資15億元，擴大KrF光刻膠產(chǎn)能并布局集成電路前驅(qū)體項目。彤程新材半導體光刻膠業(yè)務2024年上半年營收增長54.43%，ArF光刻膠開始形成銷售。
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吉田產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同與政策紅利。成都厚膜光刻膠工廠
憑借多年研發(fā)積累，公司形成了覆蓋光刻膠、焊接材料、電子膠等領域的豐富產(chǎn)品線。在焊接材料方面，不僅提供常規(guī)錫膏、助焊膏，還針對特殊場景開發(fā)了 BGA 助焊膏、針筒錫膏等定制化產(chǎn)品，滿足精密電子組裝的多樣化需求。同時，感光膠系列產(chǎn)品分為水性與油性兩類，兼具耐潮性與易操作性，廣泛應用于印刷電路板制造。
公司產(chǎn)品遠銷全球，并與多家跨國企業(yè)及電子加工企業(yè)建立長期合作關系。通過在重點區(qū)域設立辦事處，提供快速響應的技術支持與售后服務。依托東莞 “世界工廠” 的產(chǎn)業(yè)資源，公司強化供應鏈協(xié)同，縮短交付周期，為客戶提供高效解決方案。
未來，廣東吉田半導體材料有限公司將繼續(xù)深化技術創(chuàng)新，拓展產(chǎn)品應用領域，以可靠的產(chǎn)品與專業(yè)的服務，持續(xù)鞏固其在半導體材料行業(yè)的重要地位。
成都厚膜光刻膠工廠
