1)白光輪廓儀的典型應用:
對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
2)共聚焦顯微鏡方法
共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多***盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié),但是在共焦圖像中,通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高 分辨率。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。
反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。掩模對準輪廓儀可以免稅嗎
1.3. 培訓計劃
在完成系統(tǒng)布線并開始設備安裝后,即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等,讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認識。
在整個系統(tǒng)驗收前后,安排有關人員在進行培訓。
1.4. 培訓形式
公司指派技術人員向相關人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點;
向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料,使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握;
針對系統(tǒng)的具體操作一一指導,使相關人員掌握技術要領;
對學員提出的問題進行詳細解答;
ADE輪廓儀應用粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量。
白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀
白光干涉3D顯微鏡:
干涉面成像,
多層垂直掃描
比較好高度測量精度:< 1nm
高度精度不受物鏡影響
性價比好
激光共聚焦3D顯微鏡:
點掃描合成面成像,
多層垂直掃描
Keyence(日本)
比較好高度測量精度:~10nm
高度精度由物鏡決定,1um精度@10倍
90萬-130萬
三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對樣品表面進行快速、重復性高、高 分辨率的三維測量,測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,臺階高度,給MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產提供了一個精確的、價格合理的計量方案。(來自網絡)
NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術參數
3D測量主要技術指標(1):
測量模式: PSI + VSI + CSI
Z軸測量范圍: 大行程PZT 掃描 (300um 標配/500um選配)
10mm 精密電機拓展掃描
CCD相機: 1920x1200 高速相機(標配)
干涉物鏡: 2.5X, 5X, 10X(標配), 20X, 50X, 100X(NIKON )
物鏡切換: 5孔電動鼻切換 FOV: 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)
Z軸聚焦: 高精密直線平臺自動聚焦
照明系統(tǒng): 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換(綠色/藍色)
傾斜調節(jié): ±5°電動調節(jié)
橫向分辨率: ≥0.35μm(與所配物鏡有關)
3D測量主要技術指標(2):
垂直掃描速度: PSI : <10s,VSI/CSI:< 38um/s
高度測量范圍: 0.1nm – 10mm
表面反射率: > 0.5%
測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm
準確度 < 1nm
RMS重復性 < 0.01nm (1σ)
臺階高重復性:0.15nm(1σ)
VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm
準確度<1%
重復性<0.1% (1σ,10um臺階高) 視場范圍:560×750um(10×物鏡) 具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機 。
隨著時代的發(fā)展,輪廓儀也越來重要了,不少的產品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測,***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化,并分別在X和Z方向上對其進行采樣,并將其轉換為電信號。電信號被放大和處理,然后轉換成數字信號并存儲在計算機系統(tǒng)的存儲器中。計算機以數字方式過濾原始表格的輪廓,分離表面并計算粗糙度分量,測量結果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標,或放大的實際輪廓曲線。測量結果通過顯示器輸出,也可以由打印機輸出。輪廓儀應用輪廓儀***用于機械加工、汽車、摩托車、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光學元件等行業(yè)適用于研究機構、大學、計量機構和企業(yè)計量室。在汽車,摩托車和制冷行業(yè),它可以測量活塞,活塞銷,齒輪的總線參數和汽車,摩托車和壓縮機的閥門柱塞,可以測量各種傾斜部件的參數。在軸承工業(yè)中,內護套環(huán)的密封槽的形狀(角度,倒角R,槽深,槽寬等);各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,角度和對數曲線;電機軸,圓柱銷,活塞銷,滾針軸承,圓柱滾子軸承。NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復精度 1um。太陽能電池輪廓儀出廠價
一般三坐標精度都在2-3um左右。掩模對準輪廓儀可以免稅嗎
輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人:
邁爾爾遜
1852-1931
美國物理學家
曾從事光速的精密測量工作
邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準。
1881年,他發(fā)明了一種用以測量微小長度,折射率和光波波長的干涉儀,邁克爾遜干涉儀。
他和美國物理學家莫雷合作,進行了***的邁克爾遜-莫雷實驗,否定了以太de 存在,為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎。
由于創(chuàng)制了精密的光學儀器和利用這些儀器所完成光譜學和基本度量學研究,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學獎。 掩模對準輪廓儀可以免稅嗎
岱美儀器技術服務(上海)有限公司位于中國(上海)自由貿易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位。公司業(yè)務涵蓋磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發(fā)等,價格合理,品質有保證。公司注重以質量為中心,以服務為理念,秉持誠信為本的理念,打造儀器儀表良好品牌。在社會各界的鼎力支持下,持續(xù)創(chuàng)新,不斷鑄造***服務體驗,為客戶成功提供堅實有力的支持。