干涉儀隔振臺大型半導體設備防震臺應用

來源: 發(fā)布時間:2021-01-09

AVI600-S

AVI 600-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,比較大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI

600-S適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。


AVI 600-S的隔離始于1,2 Hz,超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 600-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 600-S的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 600-S緊湊型設備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的處理概念-從而避免在設備上放置沉重的設備(例如SEM)時進行任何復雜的操作。


技術指標:

頻率:  1.2-200 Hz

負載范圍:  0-1200公斤

(單個): 600公斤 傳感器LFS-3有一個單獨的電源,通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。干涉儀隔振臺大型半導體設備防震臺應用

1、使用2 mm內六角扳手(包括在內)拆下模塊端板。

2、根據(jù)掃描電鏡的重量調整模塊。

在每個中心柱上的橫梁上方和下方應該有一個間隙,允許每側大約有2mm的行程。

B、使用M6活動扳手(包括)轉動位于支撐彈簧頂部的調整螺母。向右轉動扳手可降低模塊并增加上部間隙(在**止動螺母和橫撐之間)。向左轉動扳手可升高模塊并減小上部間隙。

C、計算每個螺母的圈數(shù);盡可能均勻地調整所有螺母。并非所有中心柱上的間隙都完全相同。

D、不要轉動螺母太遠,否則可能損壞系統(tǒng)。在任何情況下,外露螺紋不得超過10mm

3.裝回模塊上的端板 AVI-400MLP隔振臺電子顯微鏡STMLFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。

Table Stable生產(chǎn)的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng),具有**的防振單元和控制器。

可能有多種變化,例如將其用作電子顯微鏡(SEM)的隔振臺,或與光學平臺結合使用的高性能光學實驗臺。


特點:

?通過主動控制沒有共振點,可以防止低頻范圍的振動。

?安裝時不需要參數(shù)調整,安裝后可以立即使用。-由于不使用空氣彈簧,因此不需要空氣彈簧。

?振動狀態(tài)一目了然。

(可以目視觀察控制器的每個LED閃爍單元的振動狀態(tài)。)

-加速度信號可以從外部輸出。

(通過將BNC連接器連接到示波器,可以看到活動對象正在正常工作。

AVI-600 / LP的每個單元均可調節(jié),以適應0至600kg的負載。 對于任何設置由兩個單元組成的系統(tǒng)上的負載,可在+/- 90kg之間變化,而不必重設調整。


***操作系統(tǒng)時,請將前面板隔離開關設置為OFF(黑色旋出)。 接通電源。 電源指示燈現(xiàn)在將點亮,并且24個顯示LED將短暫閃爍。 黃色的使能LED將以大約2 Hz的頻率閃爍。 如果劇烈震動存在或如果您將手放在桌面上,則某些或所有LED將閃爍。接通電源約30秒后,您可以將隔離開關推到ON位置(紅色旋鈕進入)。黃色LED現(xiàn)在將長久保持亮起,表明系統(tǒng)處于隔離。






TS-140的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db。

AVI-400系列(負載:**多800kg)

型號:AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP

系統(tǒng)形狀:控制器與防振單元分離型

主動控制范圍:被動隔振范圍200Hz以上

確認防振狀態(tài):使用控制器背面的BNC連接器,外部連接,前面的8個LED指示防振狀態(tài)

尺寸:190×396×190×720×220×856×

控制器尺寸:241×287×142毫米

承重*800kg

單位重量:約13kg;約19公斤,聯(lián)絡我們

電源電壓:95-240VAC,50-60赫茲

耗電量:通常為18W

工作溫度范圍:5℃?40℃工作濕度范圍10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)

可選零件(1)裝載板,石板,鑄鐵板*另行咨詢選裝(2)高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨咨詢。 Table Stable通過在發(fā)展主動隔振系統(tǒng)的同時補充了被動系統(tǒng)。主動隔振臺研發(fā)可以用嗎

Table Stable生產(chǎn)的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng),具有**的防振單元和控制器。干涉儀隔振臺大型半導體設備防震臺應用

TS-150安全守則

?只能將系統(tǒng)插入具有單獨接地的插座。 不要斷開此連接通過插座或使用不接地的延長線接地。

?在打開本設備之前,請確保已將其連接到正確的電源電壓。

?請勿卸下任何蓋子或讓任何金屬物體進入設備的任何開口。

?請勿拆卸或嘗試維修系統(tǒng)。 這可能會導致電擊或損壞到系統(tǒng)。

?卸下任何主機蓋之前,請先斷開電源。 請把維修交給合格的人員。

?請勿在有危險的環(huán)境中使用。

?請勿在頂板上鉆任何孔。 這會損壞系統(tǒng)。

?如果您懷疑系統(tǒng)有任何不安全之處,請拔下電源插頭并防止可能發(fā)生的意外事 故用法。 請與您**近的服務中心聯(lián)系。


干涉儀隔振臺大型半導體設備防震臺應用

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