江蘇輪廓儀廠家

來源: 發(fā)布時間:2021-01-29

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡:

干涉面成像,

多層垂直掃描

比較好高度測量精度:< 1nm

高度精度不受物鏡影響


性價比好

激光共聚焦3D顯微鏡:

點掃描合成面成像,

多層垂直掃描

Keyence(日本)

比較好高度測量精度:~10nm

高度精度由物鏡決定,1um精度@10倍

90萬-130萬


三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對樣品表面進行快速、重復性高、高 分辨率的三維測量,測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,臺階高度,給MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的、價格合理的計量方案。(來自網(wǎng)絡) 表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)。江蘇輪廓儀廠家

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,典型結果包括:


表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)

幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)


白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦。


輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用:

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結構尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,檢測相應的輪廓尺寸。 四川輪廓儀出廠價物鏡是輪廓儀****的部件, 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用:

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結構尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,檢測相應的輪廓尺寸。



白光輪廓儀的典型應用:

對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置 :

? XY比較大行程650*650mm

? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸

? XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復精度

1um

? XY 平臺比較大移動速度:200mm/s

? Z 軸聚焦:100mm行程自動聚焦,0.1um移動步進

? 隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石

? 配置真空臺面

? 配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動識別產(chǎn)品信息

? 主設備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm


如果想要了解更加詳細的產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。 產(chǎn)能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)。

輪廓儀的**團隊

夏勇博士,江蘇省雙創(chuàng)人才


15年ADE,KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)、項目管理經(jīng)驗


SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人,太陽能在線檢測設備

唐壽鴻博士,國家千人****


25年 ADE,KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)經(jīng)驗


KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān),***圖像處理、算法**

許衡博士,軟件系統(tǒng)研發(fā)


10 年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗(BD Medical

Instrument)

光學測量、軟件系統(tǒng)


岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術支持,為您排憂解難。 儀器運用高性能內(nèi)部抗震設計,不受外部環(huán)境影響測量的準確性。半導體輪廓儀國內(nèi)代理

測量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)。江蘇輪廓儀廠家

隨著儀器儀表和計算機的完美結合,為了更好的滿足人們對精神世界的需求,體驗多維世界給人們帶來的**,儀器儀表的虛擬化開始發(fā)展。身臨其境接受客觀實物,給美又增添了一絲創(chuàng)意。在計算機和互聯(lián)網(wǎng)的急速發(fā)展到整個世界的背景下,儀器儀表也開始向網(wǎng)絡化突進,結合新的科技設備,通過廣域網(wǎng)和局域網(wǎng)直接操控儀器儀表,對公司的管理,經(jīng)營一體化,應用模式的分析等各大方面產(chǎn)生影響。有限責任公司企業(yè)通過網(wǎng)絡這個平臺與客戶直接的交流,突破了世界和空間的限制,行家遠程操控對儀器儀表進行維護和分析。高科技的產(chǎn)品也隨之而來。工業(yè)領域轉(zhuǎn)型升級、提升發(fā)展質(zhì)量等有利于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展;**安全、社會安全、產(chǎn)業(yè)和信息安全等需要自主、磁記錄,半導體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)裝備,成為全社會共識;隨著中國的不斷進步,世界上只有一個救世主——市場,能救企業(yè)的只有你自己——自強,提高其他型重點競爭力才是中國制造業(yè)的獨一出路。以顯微科學儀器行業(yè)的發(fā)展與變化為例,以親身的實踐為例,毛磊認為,隨著經(jīng)濟的不斷發(fā)展,我國的環(huán)境和實力都發(fā)生了巨大變化,有了完全不同的基礎,這為國產(chǎn)科學儀器走向**增強了信心。江蘇輪廓儀廠家

岱美儀器技術服務(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,是一家磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司。公司自創(chuàng)立以來,投身于磁記錄,半導體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),是儀器儀表的主力軍。岱美儀器技術服務始終以本分踏實的精神和必勝的信念,影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術服務始終關注自身,在風云變化的時代,對自身的建設毫不懈怠,高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術服務在行業(yè)的從容而自信。