晶圓片隔振臺試用

來源: 發(fā)布時間:2021-02-14

TS-140 +40結(jié)合了久經(jīng)考驗的技術***性與優(yōu)雅且用戶友好的設計

TS-140 +40的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz后迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性

TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式

精確的自動高度調(diào)節(jié)機制即使在負載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”

用戶友好,實用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果

TS-140 +40的高度*84毫米

TS 140 +40的重量*為28.5千克 LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅硬,以便在附近移動時不會明顯傾斜。晶圓片隔振臺試用

TS-150

TS-150結(jié)合了久經(jīng)考驗的技術特點和優(yōu)雅且用戶友好的設計

TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性

TS 150的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式

精確的**于載荷的自動高度調(diào)節(jié)機構(gòu)即使在載荷發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”


頻率:0,7-1000 Hz

負載范圍:0-150公斤

尺寸 :400 x 450 x 78.5 毫米


TS-150結(jié)合了久經(jīng)考驗的技術***性和優(yōu)雅且用戶友好的設計。TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多。

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性。TS 150的出色性能包括所有六個平移和旋轉(zhuǎn)振動模式精確的**于載荷的自動高度調(diào)節(jié)機構(gòu)即使在載荷發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平。遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”用戶友好,實用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果。

TS-150的高度*為78.5毫米

TS-150的重量*為17.5千克 AVI-400SLP隔振臺價格怎么樣Herz 防震臺/防振臺是世界上****的防震臺/防振臺系統(tǒng)方案供應商之一。

AVI 200-XL的隔離始于1,2 Hz,然后迅速增加至超過10Hz的35dB

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 200-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復雜的過程。

技術指標:

頻率: 1,2-200 Hz

負載范圍: 0-400公斤

AVI 200-M的基本配置包括兩個單個承載模塊和一個控制單元,比較大可以負載400公斤。通過增加隔離模塊的數(shù)量,可以輕松承受更高的負載。為了使AVI

200-M適應用戶特定的應用,可以按特殊順序提供不同長度的單個模塊。

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,與標準AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋回路中,以提高極低頻時的隔振性能。LFS-3可以被復裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測量的垂直和水平隔離(可傳輸性),其具有和不具有LFS。用AVI-200 S/LP進行測量,增益設置為128(V)和150(H)。


輸入電壓:115/230V

AC,50-60Hz        功耗:比較大20瓦

頻率范圍:0.2-20Hz       尺寸傳感器:255x245x107mm(長x寬x高)

電源尺寸:265x155x73mm(長x寬x高) 重量傳感器:5.9kg

供電重量:1.6kg                        應用:室內(nèi)

防護等級:IP 20                        溫度范圍 :5°C-40°C

相對濕度:10–90%(5–30°C)


Table Stable生產(chǎn)的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng),具有**的防振單元和控制器。

LFS

LFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,并與標準AVI / LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中,以提高非常低頻率的振動隔離。LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。

LFS-3的設計、制造和測試均符合測量和控制設備的安全規(guī)定,并滿足EEC指令73/23的相關要求。系統(tǒng)符合EEC指令89/336(電磁兼容性)

每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要,但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座(診斷插座)連接到傳感器。 使用壓電力馬達的慣性反饋不僅可以隔離建筑物的振動,還可以隔離放置在系統(tǒng)本身上的振動源。北京隔振臺學校會用嗎

AVI 200-M的基本配置包括兩個單個承載模塊和一個控制單元,比較大可以負載400公斤。晶圓片隔振臺試用

TS-150安全守則

?只能將系統(tǒng)插入具有單獨接地的插座。 不要斷開此連接通過插座或使用不接地的延長線接地。

?在打開本設備之前,請確保已將其連接到正確的電源電壓。

?請勿卸下任何蓋子或讓任何金屬物體進入設備的任何開口。

?請勿拆卸或嘗試維修系統(tǒng)。 這可能會導致電擊或損壞到系統(tǒng)。

?卸下任何主機蓋之前,請先斷開電源。 請把維修交給合格的人員。

?請勿在有危險的環(huán)境中使用。

?請勿在頂板上鉆任何孔。 這會損壞系統(tǒng)。

?如果您懷疑系統(tǒng)有任何不安全之處,請拔下電源插頭并防止可能發(fā)生的意外事 故用法。 請與您**近的服務中心聯(lián)系。


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