減震臺(tái)隔振臺(tái)原理

TS-140+40技術(shù)指標(biāo)：

頻率                   負(fù)載范圍            尺寸

0,7-1000 Hz           50-180公斤    500 x

600 x 84毫米

隔離：

動(dòng)態(tài)0.7Hz至1kHz無(wú)源（超過1kHz）

傳遞率：

參見附件曲線10 Hz以上的透射率<0.01（-40dB）

矯正力：垂直+/- 8 N     水平+/- 4 N

靜態(tài)合規(guī)性：垂直約12 μm

/ N 水平30-40 μm / N

比較大負(fù)載：50-180公斤

尺寸：500 x 600 x

84毫米

重量：28.5公斤

TS-140 +40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)***性與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)

這種中型動(dòng)態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應(yīng)用。

在公制（M6 x 25mm）或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。

Table Stable生產(chǎn)的主動(dòng)式微振動(dòng)控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動(dòng)式防振系統(tǒng)，具有**的防振單元和控制器。減震臺(tái)隔振臺(tái)原理

AVI 200-M

AVI 200-M的隔離始于1,2 Hz，超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 200-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 200-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式

AVI 200-M隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡(jiǎn)單，友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復(fù)雜的過程

技術(shù)指標(biāo)：

頻率： 1,2-200 Hz

負(fù)載范圍： 0-400公斤

（單個(gè)）：  200公斤

如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。 光刻機(jī)隔振臺(tái)優(yōu)惠價(jià)格在納米技術(shù)的時(shí)代，極之微細(xì)的振動(dòng)已對(duì)搜索結(jié)果造成極大的影響，必須改善測(cè)量環(huán)境。

LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對(duì)應(yīng)于AVI元件的開關(guān)輸出，這些AVI元件以任意4個(gè)矩形方向（即平行或直角）放置，不允許其他方向。

面向LFS傳感器的藍(lán)色LED直立。將***個(gè)AVI元件連接到后面板上的12個(gè)D-Sub15插座中的任何一個(gè)。使用筆在位置A和D之間滑動(dòng)開關(guān)。

傳感器的位置:

傳感器可以移動(dòng)到任何所需位置。它可能位于負(fù)載下方或外部，但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。

支承面剛度:

支承面的剛度很重要。水平傳感器無(wú)法區(qū)分水平加速度和傾斜。因此，LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅(jiān)硬，以便在附近移動(dòng)時(shí)不會(huì)明顯傾斜。傾斜將導(dǎo)致傳感器輸出飽和，隔離將失效。

LFS

LFS傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，并與標(biāo)準(zhǔn)AVI / LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中，以提高非常低頻率的振動(dòng)隔離。LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。

LFS-3的設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試均符合測(cè)量和控制設(shè)備的安全規(guī)定，并滿足EEC指令73/23的相關(guān)要求。系統(tǒng)符合EEC指令89/336（電磁兼容性）

每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座（診斷插座）連接到傳感器。 Table Stable通過在發(fā)展主動(dòng)隔振系統(tǒng)的同時(shí)補(bǔ)充了被動(dòng)系統(tǒng)。

AVI600-M

AVI 600-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元，比較大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。

AVI 600-M的隔離始于1,2 Hz，超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 600-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 600-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式

AVI 600-M緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡(jiǎn)單，友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時(shí)進(jìn)行任何復(fù)雜的操作。

技術(shù)指標(biāo)：

頻率：  1.2-200 Hz

負(fù)載范圍：  0-1200公斤

（單件）：  600公斤 實(shí)際測(cè)量的振動(dòng)結(jié)果：AVI 主動(dòng)隔振頻率范圍在 1.0Hz 到 200Hz之間。桌面式隔震臺(tái)隔振臺(tái)代理價(jià)格

安置好后只需簡(jiǎn)單地調(diào)節(jié)彈簧即可使用。減震臺(tái)隔振臺(tái)原理

LFS-3傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋回路中，以提高極低頻時(shí)的隔振性能。LFS-3可以被復(fù)裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測(cè)量的垂直和水平隔離（可傳輸性），其具有和不具有LFS。用AVI-200 S/LP進(jìn)行測(cè)量，增益設(shè)置為128（V）和150（H）。

輸入電壓：115/230V

AC，50-60Hz        功耗：比較大20瓦

頻率范圍：0.2-20Hz       尺寸傳感器：255x245x107mm（長(zhǎng)x寬x高）

電源尺寸：265x155x73mm（長(zhǎng)x寬x高） 重量傳感器：5.9kg

供電重量：1.6kg                        應(yīng)用：室內(nèi)

防護(hù)等級(jí)：IP 20                        溫度范圍 ：5°C-40°C

相對(duì)濕度：10–90%（5–30°C）

減震臺(tái)隔振臺(tái)原理

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位，是一家磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司。岱美儀器技術(shù)服務(wù)作為磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的企業(yè)之一，為客戶提供良好的磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念，影響并帶動(dòng)團(tuán)隊(duì)取得成功。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身，在風(fēng)云變化的時(shí)代，對(duì)自身的建設(shè)毫不懈怠，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信。