芯片隔振臺(tái)質(zhì)量怎么樣

AVI主動(dòng)隔震臺(tái)

AVI應(yīng)用于掃描電鏡

1、如有可能，拆下掃描電鏡柱的側(cè)板。

2、使用掃描電鏡找平腳將立柱抬離地面至少6“。如有必要，在水平尺下放置木塊以增加高度。

3、拆下主銷(xiāo)后傾角和主銷(xiāo)后傾角螺栓（如有必要）。

4、將***個(gè)鋁制安裝板放在掃描電鏡下的地面上。前后各27.5英寸，左右各27英寸。用水平儀確保盤(pán)子坐平。按下所有角落，確保其與地面齊平。如果不水平或不齊平，則使用墊片確保水平，并在各側(cè)均勻地放置在地面上。

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使用說(shuō)明書(shū)

解鎖系統(tǒng)后，將設(shè)備放置在平坦且堅(jiān)固的桌子上或地下。

調(diào)整負(fù)載補(bǔ)償:

將負(fù)載放在**上面，并使用以下三個(gè)調(diào)整負(fù)載補(bǔ)償側(cè)面的車(chē)輪到外殼和頂板之間的距離為2mm。

沿+方向旋轉(zhuǎn)輪子以增加負(fù)載補(bǔ)償方向旋轉(zhuǎn)車(chē)輪以減少負(fù)載補(bǔ)償

按下并檢查每個(gè)角是否有約0.5mm的自由移動(dòng)。輕輕地上下拉頂板！

更改負(fù)載后，檢查每個(gè)角是否自由移動(dòng)！

將電源插頭連接到背面的輸入電源插座。

按下背面的電源按鈕打開(kāi)設(shè)備“ POWER” LED將點(diǎn)亮，而“ ACTIVE” LED開(kāi)始閃爍。

大約30秒鐘后，“活動(dòng)” LED將保持點(diǎn)亮狀態(tài)，并且系統(tǒng)現(xiàn)在可以使用了。

您可以通過(guò)按“啟用”按鈕來(lái)打開(kāi)和關(guān)閉活動(dòng)隔離。

SEM隔振臺(tái)推薦廠家振動(dòng)分析系統(tǒng)VA-2C是帶有遠(yuǎn)程測(cè)量頭的系統(tǒng)，可輕松測(cè)量三個(gè)正交方向上的加速度，速度或位移。

1、使用2 mm內(nèi)六角扳手（包括在內(nèi)）拆下模塊端板。

2、根據(jù)掃描電鏡的重量調(diào)整模塊。

在每個(gè)中心柱上的橫梁上方和下方應(yīng)該有一個(gè)間隙，允許每側(cè)大約有2mm的行程。

B、使用M6活動(dòng)扳手（包括）轉(zhuǎn)動(dòng)位于支撐彈簧頂部的調(diào)整螺母。向右轉(zhuǎn)動(dòng)扳手可降低模塊并增加上部間隙（在**止動(dòng)螺母和橫撐之間）。向左轉(zhuǎn)動(dòng)扳手可升高模塊并減小上部間隙。

C、計(jì)算每個(gè)螺母的圈數(shù)；盡可能均勻地調(diào)整所有螺母。并非所有中心柱上的間隙都完全相同。

D、不要轉(zhuǎn)動(dòng)螺母太遠(yuǎn)，否則可能損壞系統(tǒng)。在任何情況下，外露螺紋不得超過(guò)10mm

3.裝回模塊上的端板

LFS

LFS傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，并與標(biāo)準(zhǔn)AVI / LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中，以提高非常低頻率的振動(dòng)隔離。LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。

LFS-3的設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試均符合測(cè)量和控制設(shè)備的安全規(guī)定，并滿(mǎn)足EEC指令73/23的相關(guān)要求。系統(tǒng)符合EEC指令89/336（電磁兼容性）

每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座（診斷插座）連接到傳感器。 TS-140的高度*為84毫米。

傳感器位置

傳感器可以移動(dòng)到任何期望的位置。 它可能位于負(fù)載下方或外部，但必須位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后連接時(shí)，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。

支撐面的剛性

支撐表面的剛性很重要。 水平傳感器無(wú)法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。 LFS和因此，AVI元素所在的位置必須盡可能堅(jiān)硬，以使其不會(huì)明顯傾斜當(dāng)人們?cè)诟浇苿?dòng)時(shí)。 傾斜會(huì)導(dǎo)致傳感器輸出飽和并失去隔離。

運(yùn)作方式

設(shè)置好并將電源連接到傳感器后，就可以使用系統(tǒng)了。按下電源上的電源旋鈕打開(kāi)電源。 綠色LED將點(diǎn)亮。 紅色LED開(kāi)始閃爍，這意味著存在一些振動(dòng)?，F(xiàn)在，您可以通過(guò)按啟用按鈕來(lái)啟用系統(tǒng)。 紅色LED不應(yīng)點(diǎn)亮了。 如果它們點(diǎn)亮，則表示系統(tǒng)過(guò)載且振動(dòng)建筑物中存在的物體太嚴(yán)重。

請(qǐng)注意，如果未啟用LFS，則它將無(wú)效。

敏感的傳感器單元，請(qǐng)勿撞擊，敲打或跌落！

AVI主動(dòng)隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測(cè)量和生產(chǎn)環(huán)境。芯片隔振臺(tái)質(zhì)量怎么樣

    技術(shù)指標(biāo)：頻率負(fù)載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米

隔離：動(dòng)態(tài)（超過(guò)1kHz）

透射率：參見(jiàn)附件曲線10Hz以上的透射率<（-40dB）

矯正力：垂直+/-8N水平+/-4N

靜態(tài)合規(guī)性：大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N

比較大負(fù)載：140公斤尺寸：500x600x84毫米

重量：28.5kg

電的安全等級(jí)：1個(gè)能量消耗：比較大10W負(fù)載調(diào)整時(shí)20W輸入電壓：115-230VAC+/-10％50-60Hz

超載：顯示屏指示負(fù)載過(guò)重或嚴(yán)重失衡

監(jiān)控信號(hào)：示波器上顯示的多路復(fù)用信號(hào)顯示有無(wú)隔離的振動(dòng)水平-*用于診斷目的

前面板顯示菜單：顯示儀器狀態(tài)，包括：-高度調(diào)節(jié)-隔離開(kāi)/關(guān)-過(guò)載-運(yùn)輸鎖定-技術(shù)熱線

桌上尺寸：500x600毫米。 芯片隔振臺(tái)質(zhì)量怎么樣

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