SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術,可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化,并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合,可實現(xiàn)****的吞吐量,并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結構的低成本,大批量替代光刻技術。
注:*分辨率取決于過程和模板
如果需要詳細的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。 納米壓印設備哪個好?預墨印章可用于將材料以明顯的圖案轉移到基材上。陜西納米壓印出廠價
EVG ® 770分步重復納米壓印光刻系統(tǒng)
分步重復納米壓印光刻技術,可進行有效的母版制作
EVG770是用于步進式納米壓印光刻的通用平臺,可用于有效地進行母版制作或對基板上的復雜結構進行直接圖案化。這種方法允許從**
大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復制模板。與鉆石車削或直接寫入方法相結合,分步重復刻印通常用于有效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版。
EVG770的主要功能包括精確的對準功能,完整的過程控制以及可滿足各種設備和應用需求的靈活性。 三維芯片納米壓印美元報價SmartNIL集成多次使用的軟標記處理功能,并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢,同時保留可擴展性和易于維護的特點。
曲面基底上的納米結構在許多領域都有著重要應用,例如仿生學、柔性電子學和光學器件等。傳統(tǒng)的納米壓印技術通常采用剛性模板,可以實現(xiàn)亞10nm的分辨率,但是模板不能彎折,無法在曲面基底上壓印制備納米結構。而采用彈性模板的軟壓印技術可以在無外界提供壓力下與曲面保形接觸,實現(xiàn)結構在非平面基底上的壓印復制,但是由于彈性模板的楊氏模量較低,所以壓印結構的分辨率和精度都受到限制?;谀壳凹{米壓印的發(fā)展現(xiàn)狀,結合傳統(tǒng)的納米壓印技術和軟壓印技術,中國科學院光電技術研究所團隊發(fā)展了一種基于紫外光固化巰基-烯材料的亞100nm分辨率的復合軟壓印模板的制備方法,該模板包含剛性結構層和彈性基底層。(來自網(wǎng)絡,侵權請聯(lián)系我們進行刪除,謝謝!)
SmartNIL是一項關鍵的啟用技術,可用于顯示器,生物技術和光子應用中的許多新創(chuàng)新。例如,SmartNIL提供了****的全區(qū)域共形壓印,以便滿足面板基板上線柵偏振器的**重要標準。SmartNIL還非常適合對具有復雜納米結構的微流控芯片進行高精度圖案化,以支持下一代藥 物研究和醫(yī)學診斷設備的生產(chǎn)。此外,SmartNIL的***發(fā)展為制造具有比較高功能,**小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結構提供了更多的自由度,這對于實現(xiàn)衍射光學元件(DOE)至關重要。
特征:
體積驗證的壓印技術,具有出色的復制保真度
專有SmartNIL ®技術,多使用聚合物印模技術
經(jīng)過生產(chǎn)驗證的分辨率低至40 nm或更小
大面積全場壓印
總擁有成本比較低
在地形上留下印記
對準能力
室溫過程
開放式材料平臺 EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。
客戶示范
■工藝開發(fā)
■材料測試
■與合作伙伴共同研發(fā)
■資助項目
■小批量試生產(chǎn)
■IP管理
■過程技術許可證
■流程培訓
→世界前列的潔凈室基礎設施
→**的設備
→技術**
→**計量
→工藝知識
→應用知識
→與NIL的工作印模材料和表面化學有關的化學專業(yè)知識
新應用程序的開發(fā)通常與設備功能的提高緊密相關。 EVG的NIL解決方案能夠產(chǎn)生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案,并在顯示器,生物技術和光子應用中實現(xiàn)了許多新的創(chuàng)新。
岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。
EVG ? 770是分步重復納米壓印光刻系統(tǒng),使用分步重復納米壓印光刻技術,可進行有效的母版制作。內(nèi)蒙古納米壓印有誰在用
EVG ? 7200是自動SmartNIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng)。陜西納米壓印出廠價
EVG ® 510 HE是EVG500系列的熱壓印系統(tǒng)
EV Group的一系列高精度熱壓印系統(tǒng)基于該公司市場**的晶圓鍵合技術。出色的壓力和溫度控制以及大面積的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印。熱壓印是一種經(jīng)濟高
效且靈活的制造技術,對于尺寸低至50 nm的特征,其復制精度非常高。該系統(tǒng)非常適合將復雜的微結構和納米結構以及高縱橫比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。壓模與基板對準的組合可將熱壓紋與預處理的基板結構對準。這個系列包含的型號有:EVG®510HE,EVG®520HE。 陜西納米壓印出廠價
岱美儀器技術服務(上海)有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,是一家專業(yè)的磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易、轉口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易、轉口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】公司。在岱美儀器技術服務近多年發(fā)展歷史,公司旗下現(xiàn)有品牌岱美儀器技術服務等。公司以用心服務為重點價值,希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力,將磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易、轉口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易、轉口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】等業(yè)務進行到底。誠實、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,也是我們做人的基本準則。公司致力于打造***的磁記錄,半導體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)。