主營產(chǎn)品: 微納加工技術(shù)服務(wù)|真空鍍膜技術(shù)服務(wù)|紫外光刻技術(shù)服務(wù)|材料刻蝕技術(shù)服務(wù)
在高科技飛速發(fā)展的現(xiàn)在，半導(dǎo)體材料作為電子工業(yè)的重要基礎(chǔ)，其制造過程中的每一步都至關(guān)重要。其中，將半導(dǎo)體材料精確切割成晶圓是芯片制造中的關(guān)鍵...
石墨烯微納加工是圍繞石墨烯這一神奇二維材料展開的精密加工技術(shù)。石墨烯因其出色的電學(xué)、力學(xué)和熱學(xué)性能，在電子器件、柔性電子、能量存儲和轉(zhuǎn)換等領(lǐng)...
隨著摩爾定律的放緩，單純依靠先進制程技術(shù)提升芯片性能已面臨瓶頸，而先進封裝技術(shù)正成為推動半導(dǎo)體器件性能突破的關(guān)鍵力量。先進封裝技術(shù)，也稱為高...
半導(dǎo)體器件的加工需要在潔凈穩(wěn)定的環(huán)境中進行，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。潔凈室是半導(dǎo)體加工的重要場所，必須保持其潔凈度和正壓狀態(tài)。進入潔凈室前，...
廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺，面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造***的公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù)，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。
