微流控與金屬片電極的鑲嵌工藝技術(shù)：微流控與金屬片電極的鑲嵌工藝實(shí)現(xiàn)了流體通道與固態(tài)電極的無(wú)縫集成，適用于電化學(xué)檢測(cè)、電滲流驅(qū)動(dòng)等場(chǎng)景。加工過(guò)程中，首先在硅片或玻璃基板上制備微流道（深度50-200μm，寬度100-500μm），然后將預(yù)加工的金屬片電極（如不銹...

深硅刻蝕工藝在高深寬比結(jié)構(gòu)中的技術(shù)突破：深硅刻蝕（DRIE）是制備高深寬比微流道的主要工藝，公司通過(guò)優(yōu)化Bosch工藝參數(shù)，實(shí)現(xiàn)了深度100-500μm、寬深比1:10至1:20的微結(jié)構(gòu)加工?？涛g過(guò)程中采用電感耦合等離子體（ICP）源，結(jié)合氟基氣體（如SF6）...

加速度傳感器是很早廣泛應(yīng)用的MEMS之一。MEMS，作為一個(gè)機(jī)械結(jié)構(gòu)為主的技術(shù)，可以通過(guò)設(shè)計(jì)使一個(gè)部件(圖中橙色部件)相對(duì)底座substrate產(chǎn)生位移（這也是絕大部分MEMS的工作原理），這個(gè)部件稱(chēng)為質(zhì)量塊（proofmass）。質(zhì)量塊通過(guò)錨anchor，鉸...

MEMS制作工藝壓電器件的常用材料： 氧化鋅是一種眾所周知的寬帶隙半導(dǎo)體材料（室溫下3.4eV，晶體），它有很多應(yīng)用，如透明導(dǎo)體，壓敏電阻，表面聲波，氣體傳感器，壓電傳感器和UV檢測(cè)器。并因?yàn)榭赡軕?yīng)用于薄膜晶體管方面正受到相當(dāng)?shù)年P(guān)注。同時(shí)氧化鋅還具有...

模型生物微流控芯片的設(shè)計(jì)Choudhary等人設(shè)計(jì)了多通道微流控灌注平臺(tái)，用于培養(yǎng)斑馬魚(yú)胚胎并捕獲胚胎內(nèi)各種組織和apparatus的實(shí)時(shí)圖像。其中包含三個(gè)不同的部分。這些包括一個(gè)微流控梯度發(fā)生器，一排八個(gè)魚(yú)缸和八個(gè)輸出通道。在魚(yú)缸中，魚(yú)胚胎被單獨(dú)放置。流體梯...

高聚物材料加工工藝：是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、熱壓法、LIGA技術(shù)、激光刻蝕法和軟光刻等。模塑法是先利用半導(dǎo)體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽(yáng)模，然后在陽(yáng)模上澆注液體的高分子材料，將固化后的高分子材料與陽(yáng)模剝離后就...

apparatus（體外組織培養(yǎng)）微流控芯片（OoC）具有幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)，即微流控裝置內(nèi)的隔室增強(qiáng)了對(duì)微環(huán)境的控制，對(duì)物理?xiàng)l件的精確控制以及對(duì)不同組織之間通信的有效操縱。它還可以提供營(yíng)養(yǎng)和氧氣，為apparatus提供生長(zhǎng)元素，同時(shí)消除分解代謝產(chǎn)物。OoC的應(yīng)用可能...

柔性電極芯片在腦機(jī)接口中的關(guān)鍵加工工藝：腦機(jī)接口技術(shù)對(duì)柔性電極的超薄化、生物相容性及信號(hào)穩(wěn)定性提出極高要求。公司利用MEMS薄膜沉積與光刻技術(shù)，在聚酰亞胺（PI）或PDMS柔性基板上制備厚度<10μm的金屬電極陣列，電極間距可達(dá)20μm，實(shí)現(xiàn)對(duì)單個(gè)神經(jīng)元電信號(hào)...

微流控芯片加工的跨尺度集成技術(shù)與系統(tǒng)整合;公司突破單一尺度加工限制，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)至毫米級(jí)結(jié)構(gòu)的跨尺度集成，構(gòu)建功能復(fù)雜的微流控系統(tǒng)。在芯片實(shí)驗(yàn)室（Lab-on-a-Chip）中，納米級(jí)表面紋理（粗糙度 Ra＜50nm）促進(jìn)細(xì)胞外基質(zhì)蛋白吸附，微米級(jí)流道（寬度 5...

單分子檢測(cè)用PDMS芯片的超凈加工與表面修飾：?jiǎn)畏肿訖z測(cè)對(duì)芯片表面潔凈度與非特異性吸附控制要求極高，公司建立了萬(wàn)級(jí)潔凈車(chē)間環(huán)境下的PDMS芯片超凈加工流程。從硅模清洗（采用氧等離子體處理去除有機(jī)殘留）到PDMS預(yù)聚體真空脫氣（真空度<10Pa），每個(gè)環(huán)節(jié)均嚴(yán)格...

公司獨(dú)特的MEMS多重轉(zhuǎn)印工藝：將硅母模上的微結(jié)構(gòu)通過(guò)紫外固化膠轉(zhuǎn)印至硬質(zhì)塑料，可在10個(gè)工作日內(nèi)完成從設(shè)計(jì)到成品的全流程開(kāi)發(fā)。以器官芯片為例，通過(guò)該工藝制造的PMMA多層芯片，集成血管內(nèi)皮屏障與組織隔室，可模擬肺、肝等的生理功能，用于藥物毒性評(píng)估時(shí)，數(shù)據(jù)一致...

完善、高標(biāo)準(zhǔn)的PDMS芯片生產(chǎn)產(chǎn)線(xiàn)：公司自建的PDMS芯片標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)線(xiàn)，采用全自動(dòng)混膠、真空脫泡與高溫固化工藝，確保芯片力學(xué)性能（彈性模量1-3MPa）與透光率（>92%）的高度一致性。通過(guò)精密模具（公差±2μm）與等離子體親水化處理，產(chǎn)線(xiàn)可批量生產(chǎn)單分子檢測(cè)芯...

微流控芯片的原理：微流控芯片基于微流體力學(xué)原理，通過(guò)對(duì)微尺度通道內(nèi)流體的操控，實(shí)現(xiàn)對(duì)微小流體的混合、分離、傳輸和操控。微流控芯片的操作通常通過(guò)控制微閥門(mén)、微泵等來(lái)調(diào)節(jié)流體的壓力、流速和流量，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)微流體的控制。 微流控芯片的分類(lèi)：微流控芯片可以根...

對(duì)于微流控芯片，必須將材料從微通道中放入和取出，還要從納升級(jí)流量的流體中獲得可靠信號(hào)。一些研究者建議將微流控技術(shù)與“中等流體”結(jié)合，——以小型化的方式附加到中等尺寸的設(shè)備中，可以濃縮樣品，易于檢測(cè)。生物學(xué)家還受他們所使用微孔板的幾何限制。Caliper和其他的...

通過(guò)微流控芯片檢測(cè)，有助于改進(jìn)診斷性能、發(fā)現(xiàn)尚未被識(shí)別的致病性自身抗體。隨著微流控免疫芯片的推廣，自身抗體檢測(cè)成為微流控免疫芯片的重要研究方向之一。此類(lèi)芯片的設(shè)計(jì)不同于其他免疫芯片，用于自身抗體檢測(cè)的微流控芯片須將自身抗原固定在芯片表面。Matsudaira等...

微針電極與組織液提取芯片的創(chuàng)新加工技術(shù)：微針電極作為生物檢測(cè)與給藥的前沿器件，需兼顧機(jī)械強(qiáng)度與生物相容性。公司采用干濕結(jié)合刻蝕工藝，在硅或硬質(zhì)塑料基板上制備直徑10-100μm、高度500-1000μm的微針陣列，針尖曲率半徑控制在5μm以?xún)?nèi)，確保穿刺過(guò)程的低...

標(biāo)準(zhǔn)化PDMS芯片產(chǎn)線(xiàn)：公司自建的PDMS芯片產(chǎn)線(xiàn)采用全自動(dòng)化模塑工藝，涵蓋原料混煉、真空脫泡、高溫固化（80℃/2 h）及等離子親水化處理等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。產(chǎn)線(xiàn)配備高精度模具（公差±2 μm）與光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，可批量生產(chǎn)單分子檢測(cè)芯片、液滴生成芯片等產(chǎn)品。例如，液滴...

模型生物微流控芯片的設(shè)計(jì)Choudhary等人設(shè)計(jì)了多通道微流控灌注平臺(tái)，用于培養(yǎng)斑馬魚(yú)胚胎并捕獲胚胎內(nèi)各種組織和apparatus的實(shí)時(shí)圖像。其中包含三個(gè)不同的部分。這些包括一個(gè)微流控梯度發(fā)生器，一排八個(gè)魚(yú)缸和八個(gè)輸出通道。在魚(yú)缸中，魚(yú)胚胎被單獨(dú)放置。流體梯...

超薄PDMS與光學(xué)玻璃的鍵合工藝優(yōu)化：超薄PDMS（100μm以上）與光學(xué)玻璃的鍵合技術(shù)實(shí)現(xiàn)了柔性微流控芯片與高透光基板的集成，適用于熒光顯微成像、單細(xì)胞觀測(cè)等場(chǎng)景。鍵合前，PDMS基板經(jīng)氧等離子體處理（功率50W，時(shí)間20秒）實(shí)現(xiàn)表面羥基化，光學(xué)玻璃通過(guò)UV...

MEMS制作工藝-太赫茲脈沖輻射探測(cè)： 光電導(dǎo)取樣光電導(dǎo)取樣是基于光導(dǎo)天線(xiàn)(photoconductiveantenna,PCA)發(fā)射機(jī)理的逆過(guò)程發(fā)展起來(lái)的一種探測(cè)THz脈沖信號(hào)的探測(cè)技術(shù)。如要對(duì)THz脈沖信號(hào)進(jìn)行探測(cè)，首先，需將一個(gè)未加偏置電壓的P...

MEMS超表面對(duì)特性的調(diào)控： 1.超表面meta-surface對(duì)偏振的調(diào)控：在偏振方面，超表面可實(shí)現(xiàn)偏振轉(zhuǎn)換、旋光、矢量光束產(chǎn)生等功能。 2.超表面meta-surface對(duì)振幅的調(diào)控。超表面可以實(shí)現(xiàn)光的非對(duì)稱(chēng)透過(guò)、消反射、增透射、磁鏡、類(lèi)E...

微流控芯片加工的跨尺度集成技術(shù)與系統(tǒng)整合;公司突破單一尺度加工限制，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)至毫米級(jí)結(jié)構(gòu)的跨尺度集成，構(gòu)建功能復(fù)雜的微流控系統(tǒng)。在芯片實(shí)驗(yàn)室（Lab-on-a-Chip）中，納米級(jí)表面紋理（粗糙度 Ra＜50nm）促進(jìn)細(xì)胞外基質(zhì)蛋白吸附，微米級(jí)流道（寬度 5...

目前微流控創(chuàng)新的許多應(yīng)用都被報(bào)道用于惡性tumour的檢測(cè)和cure。據(jù)報(bào)道，apparatus微流控芯片用于研究特定身體（如大腦，肺，心臟，腎臟，腸道和皮膚）的生理過(guò)程。值得注意的是，微流控創(chuàng)新在之前的COVID 19大流行形勢(shì)中發(fā)揮著重要作用，特別是在cu...

安捷倫已有一些儀器使用趨向于具有更多可用性方面的經(jīng)驗(yàn)，并將這些經(jīng)驗(yàn)應(yīng)用到了微流體技術(shù)開(kāi)發(fā)上。微流體和生物傳感器的項(xiàng)目經(jīng)理Kevin Killeen博士在接受采訪(fǎng)時(shí)說(shuō)，安捷倫的目標(biāo)是為終端使用者解除負(fù)擔(dān)，“由適宜的儀器產(chǎn)品組裝成的系統(tǒng)可以讓非專(zhuān)業(yè)人士操縱專(zhuān)業(yè)設(shè)備...

MEMS制作工藝-太赫茲特性： 1.相干性由于它是由相千電流驅(qū)動(dòng)的電偶極子振蕩產(chǎn)生，或又相千的激光脈沖通過(guò)非線(xiàn)性光學(xué)頻率差頻產(chǎn)生，因此有很好的相干性。THz的相干測(cè)量技術(shù)能夠直接測(cè)量電場(chǎng)振幅和相位，從而方便提取檢測(cè)樣品的折射率，吸收系數(shù)等。 2...

基于微流控技術(shù)的生物醫(yī)學(xué)，應(yīng)用微流控技術(shù)在藥物篩選、蛋白質(zhì)組學(xué)、醫(yī)學(xué)診斷、生物傳感器和組織工程等方面有著很好的應(yīng)用前景。微流控芯片技術(shù)在藥物開(kāi)發(fā)、農(nóng)藥殘留分析、檢測(cè)和食品安全傳感中發(fā)揮著重要作用，芯片也可以與其他各種設(shè)備集成，即比色計(jì)，熒光計(jì)和分光光度計(jì)。它有...

國(guó)內(nèi)政策大力推動(dòng)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展：國(guó)家政策大力支持傳感器發(fā)展，國(guó)內(nèi)MEMS企業(yè)擁有好的發(fā)展環(huán)境。我國(guó)高度重視MEMS和傳感器技術(shù)發(fā)展，在2017年工信部出臺(tái)的《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動(dòng)指南（2017-2019）》中，明確指出要著力突破硅基MEMS加工技術(shù)、MEM...

MEMS超表面對(duì)特性的調(diào)控： 1.超表面meta-surface對(duì)偏振的調(diào)控：在偏振方面，超表面可實(shí)現(xiàn)偏振轉(zhuǎn)換、旋光、矢量光束產(chǎn)生等功能。 2.超表面meta-surface對(duì)振幅的調(diào)控。超表面可以實(shí)現(xiàn)光的非對(duì)稱(chēng)透過(guò)、消反射、增透射、磁鏡、類(lèi)E...

微流控芯片是微流控技術(shù)實(shí)現(xiàn)的主要平臺(tái)。其裝置特征主要是其容納流體的有效結(jié)構(gòu)（通道、反應(yīng)室和其它某些功能部件）至少在一個(gè)緯度上為微米級(jí)尺度。由于微米級(jí)的結(jié)構(gòu)，流體在其中顯示和產(chǎn)生了與宏觀尺度不同的特殊性能。因此發(fā)展出獨(dú)特的分析產(chǎn)生的性能。微流控芯片的特點(diǎn)及發(fā)展優(yōu)...

微流控芯片的自動(dòng)化檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)分析：公司建立了基于機(jī)器視覺(jué)的微流控芯片自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)尺寸測(cè)量、缺陷識(shí)別與性能統(tǒng)計(jì)的全流程智能化。檢測(cè)設(shè)備配備6MPUSB3.0攝像頭與遠(yuǎn)心光學(xué)鏡頭，配合步進(jìn)電機(jī)平移臺(tái)（精度±1μm），可對(duì)芯片流道、微孔、電極等結(jié)構(gòu)進(jìn)行掃描。...