激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。激光干涉儀是檢定數(shù)控機床、坐標測量機位置精度的理想工具,可按照規(guī)定標準處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線,為數(shù)控機床的誤差修正提供可靠依據(jù),現(xiàn)場使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件,可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器,可直接用于高精度、大尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能,可按預定的間距自動完成檢測和刻劃定位。可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析。數(shù)控軸直線度激光干涉儀廠家直銷
激光干涉儀的使用方法:開機:接通電源打開電源開關(guān),1分鐘后開始檢測。(因為剛開機激光器不穩(wěn)定)。光路調(diào)整:旋上適合的標準鏡頭使標準鏡頭的星點對準尋星窗口中間的黑點,顯示器上顯示完整的圓形圖像。透鏡面形檢測:調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸,(建議大批量固定透鏡的檢測,自己加工固定的沉座)放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合,觀測顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋,條紋越少精度越高。其干涉圖像與對準系統(tǒng)同步,無需切換,任何人都能簡單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸,可簡便的測量出曲率半徑。河北激光干涉儀設備廠家激光干涉儀可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
激光干涉儀的主要特點:測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角。設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器??蛇x的無線遙控傳感器比較長的控制距離可到25米??蓽y量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性。全套系統(tǒng)重量只15公斤,設計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架。集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時間。激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等,以及測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性等。
激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測。
激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應用已成為一大發(fā)展趨勢,其特點是測量精度快、反應速度快、易于數(shù)字化測量。在測量中設計一個精密導軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比,位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與HP干涉儀對定位移進行測試對比,得出往復測試實驗結(jié)果。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外,如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。激光干涉儀在制造領域應用普遍。四川顯微式激光干涉儀廠家直銷
激光干涉儀的使用注意事項:儀器應保持干燥。數(shù)控軸直線度激光干涉儀廠家直銷
干涉儀是以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現(xiàn)的,初用于檢定基準線紋尺,后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現(xiàn)的,它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(tài)(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59%、CO2含量0.03%)下的測量精確度很高,可達1×10。在通常情況下需要數(shù)天時間進行的測試,使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成,實際應用結(jié)果表明,節(jié)省時間可達80%。該儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到機床導軌上。數(shù)控軸直線度激光干涉儀廠家直銷