激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。“干涉法”是一種利用波(通常是光波、無線電波或聲波)干涉現(xiàn)象的測量方法。測量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。進囗激光干涉儀維護
激光干涉儀有單頻的和的兩種。單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù),再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù)),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。數(shù)控機床激光干涉儀維修激光干涉儀可直接用于高精度、大 尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。
激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù),可實現(xiàn)較高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>
激光干涉儀的測試質(zhì)量是由鏡子本身和反沖質(zhì)量組成的復(fù)合體。這個復(fù)合體是將鏡子的一部分嵌在一個與其質(zhì)量相等的反沖質(zhì)量體內(nèi)做成的。鏡子和反沖質(zhì)量兩者的縱軸要重合,鏡體的背面分布著四個永磁體做成的針,而相應(yīng)的線圈固定在反沖質(zhì)量體與其相對的面上。針伸入對應(yīng)的線圈內(nèi),組成磁鐵-線圈驅(qū)動器。這四組磁鐵-線圈驅(qū)動器用來調(diào)整和控制鏡體的方向和位置。在激光干涉儀引力波探測器運行過程中,需要使用光杠桿對測試質(zhì)量的狀態(tài)進行實時控制,使干涉儀穩(wěn)定地保持鎖定狀態(tài)。激光干涉儀使用注意事項:儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。
激光干涉儀還具有體積小、重量輕、移動靈活的特點,用12v電源,其耗電量極低,干涉圖像與對準(zhǔn)系統(tǒng)同步、不需要切換,任何人都能簡單操作,非常適合大批量快速檢測。激光干涉儀成為眾多光學(xué)冷加工廠商的夢想與追求,擁有一臺激光干涉儀,就擁有世界先進的檢測手段,就擁有令人信服的檢測結(jié)果,就能證明可以生產(chǎn)先進的產(chǎn)品。激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量,普遍應(yīng)用于各領(lǐng)域,已經(jīng)成為人類認知世界的重要工具。若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號。鄭州數(shù)控軸垂直度激光干涉儀購買
激光干涉儀有數(shù)控機床動態(tài)性能檢測的應(yīng)用。進囗激光干涉儀維護
激光干涉儀的應(yīng)用:1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),使機床達到蕞佳精度,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。3、數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計結(jié)果。進囗激光干涉儀維護