在電子芯片制造車間的超潔凈環(huán)境中，風(fēng)機(jī)如何控制微粒子排放？

無錫頂勝環(huán)?？萍加邢薰?/span>2025-06-20

采用層流風(fēng)機(jī)設(shè)計(jì)，通過特殊的氣流組織形式，使氣流呈均勻?qū)訝盍鲃?，減少渦流產(chǎn)生；配備 HEPA 高效過濾器，過濾效率達(dá) 99.999%（0.3μm 顆粒）；風(fēng)機(jī)內(nèi)部表面經(jīng)電解拋光處理，粗糙度 Ra≤0.2μm，防止微粒子吸附。

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