UV納米壓印光刻 EV Group提供完整的UV納米壓印光刻(UV-NIL)產(chǎn)品線,包括不同的***積壓印系統(tǒng),大面積壓印機(jī),微透鏡成型設(shè)備以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng)。除了柔軟的UV-NIL,EVG還提供其專有的SmartNIL技術(shù)以及多種...
FSM 413MOT 紅外干涉測(cè)量設(shè)備: 適用于所有可讓紅外線通過(guò)的材料:硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物………… 應(yīng)用: 襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響) 平整度 ...
FSM 360 拉曼光譜系統(tǒng) FSM紫外光和可見光拉曼系統(tǒng), 型號(hào)360 FSM拉曼的應(yīng)用 l 局部應(yīng)力; l 局部化學(xué)成分 l 局部損傷 紫外光可測(cè)試的深度 ***的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或者厚...
表面帶有微結(jié)構(gòu)硅晶圓的界面已受到極大的損傷,其表面粗糙度遠(yuǎn)高于拋光硅片( Ra < 0. 5 nm) ,有時(shí)甚至可以達(dá)到 1 μm 以上。金硅共晶鍵合時(shí)將金薄膜置于欲鍵合的兩硅片之間,加熱至稍高于金—硅共晶點(diǎn)的溫度,即 363 ℃ , 金硅混合物從預(yù)鍵合的硅片...
主動(dòng)式隔震臺(tái)工作機(jī)理 主動(dòng)防振臺(tái)通過(guò)電氣控制,向傳入振動(dòng)瞬間施加反方向的力,從而消除振動(dòng)。測(cè)振傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng),制動(dòng)器根據(jù)這些信號(hào)產(chǎn)生反向力,以保持比較好的隔振狀態(tài)。主動(dòng)式防震臺(tái)專門研究10Hz以下低頻范圍的防震。 (1)實(shí)際測(cè)量的振動(dòng)結(jié)果:...
EVG?820層壓系統(tǒng) 將任何類型的干膠膜(膠帶)自動(dòng)無(wú)應(yīng)力層壓到晶圓上 特色 技術(shù)數(shù)據(jù) EVG820層壓站用于將任何類型的干膠膜自動(dòng),無(wú)應(yīng)力地層壓到載體晶片上。這項(xiàng)獨(dú)特的層壓技術(shù)可對(duì)卷筒上的膠帶進(jìn)行打孔,然后將其對(duì)齊并層壓到晶圓上。該材料通常是雙面膠帶。利用...
該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世。根據(jù)客戶的專門需求,公司對(duì)這些聚合物作出調(diào)整,使其具備其它特征。它們極其適合工業(yè)環(huán)境,在較短的生產(chǎn)周期時(shí)間內(nèi)粘合各種微小的元件。此外,DELO紫外線LED固化設(shè)備與點(diǎn)膠閥的可靠度十分杰出。關(guān)于德路德路(DEL...
AVI-600系列(負(fù)載:1200kg) 型號(hào):AVI-600SLP,AVI-600MLP,AVI-600XLP 形狀:控制器與防振單元分離型 主動(dòng)控制范圍:被動(dòng)隔振范圍200Hz以上 確認(rèn)防振狀態(tài):使用控制器背面的BNC連接器,外...
納米壓印應(yīng)用三:連續(xù)性UV納米壓印 EVG770是用于步進(jìn)重復(fù)納米壓印光刻的通用平臺(tái),可用于有效地進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化。這種方法允許從比較大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板。...
”EV集團(tuán)的技術(shù)研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說(shuō),“通過(guò)與供應(yīng)鏈的關(guān)鍵企業(yè)的合作,例如DELO,我們能夠進(jìn)一步提高效率,作為與工藝和設(shè)備**們一同研究并建立關(guān)鍵的新生產(chǎn)線制造步驟的中心?!薄癊VG和DELO分別是晶圓級(jí)光學(xué)儀器與NIL設(shè)...
1) 由既定拉力測(cè)試高低溫循環(huán)測(cè)試結(jié)果可以看出,該鍵合工藝在滿足實(shí)際應(yīng)用所需鍵合強(qiáng)度的同時(shí),解決了鍵合對(duì)硅晶圓表面平整度和潔凈度要求極高、對(duì)環(huán)境要求苛刻的問(wèn)題。 2) 由高低溫循環(huán)測(cè)試結(jié)果可以看出,該鍵合工藝可以適應(yīng)復(fù)雜的實(shí)際應(yīng)用環(huán)境,且具有工藝溫度...
1)白光輪廓儀的典型應(yīng)用: 對(duì)各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。 2)共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包...
光源用于一般用途應(yīng)用之光源 ***T2可用在Filmetrics設(shè)備的光源具有氘燈-鎢絲與遠(yuǎn)端控制的快門來(lái)取代舊款Hamamatsu D2光源LS-LED1具有高亮度白光LED的光源 光纖配件:CP-RepairToolKitCP-1-1.3...
其中包括家用電器、醫(yī)藥、電子、光學(xué)、生命科學(xué)、汽車和航空業(yè)。肖特在全球34個(gè)國(guó)家和地區(qū)設(shè)有生產(chǎn)基地和銷售辦事處。公司目前擁有員工超過(guò)15500名,2017/2018財(cái)年的銷售額為。總部位于德國(guó)美因茨的母公司SCHOTTAG由卡爾蔡司基金會(huì)(CarlZe...
該系統(tǒng)的固有剛度比1 Hz諧振無(wú)源隔離器的固有剛度大25倍,可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。 有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒(méi)有低頻共振,這種共振困擾著所有無(wú)源隔離系統(tǒng)。 該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離...
晶圓級(jí)封裝在封裝方式上與傳統(tǒng)制造不同。該技術(shù)不是將電路分開然后在繼續(xù)進(jìn)行測(cè)試之前應(yīng)用封裝和引線,而是用于集成多個(gè)步驟。在晶片切割之前,將封裝的頂部和底部以及焊錫引線應(yīng)用于每個(gè)集成電路。測(cè)試通常也發(fā)生在晶片切割之前。 像許多其他常見的組件封...
平臺(tái)和平臺(tái)附件標(biāo)準(zhǔn)和**平臺(tái)。 CS-1可升級(jí)接觸式SS-3樣品臺(tái),可測(cè)波長(zhǎng)范圍190-1700nm SS-36“×6” 樣品平臺(tái),F(xiàn)20 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置。 可調(diào)節(jié)鏡頭高度,103 mm 進(jìn)深。 適用所有波長(zhǎng)范圍。 SS-3-88“×8”...
FSM 360 拉曼光譜系統(tǒng) FSM紫外光和可見光拉曼系統(tǒng), 型號(hào)360 FSM拉曼的應(yīng)用 l 局部應(yīng)力; l 局部化學(xué)成分 l 局部損傷 紫外光可測(cè)試的深度 ***的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或者厚...
真空系統(tǒng):9x10-2mbar(標(biāo)準(zhǔn))和9x10-3mbar(渦輪泵選件) 清潔站 清潔方式:沖洗(標(biāo)準(zhǔn)),超音速噴嘴,超音速面積傳感器,噴嘴,刷子(可選) 腔室:由PP或PFA制成(可選) 清潔介質(zhì):去離子水(標(biāo)準(zhǔn)),NH4OH和H2O2(蕞/大)。2%濃度...
輪廓儀的培訓(xùn) 一、 培訓(xùn)承諾 系統(tǒng)建成后,我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢;培訓(xùn)地點(diǎn)可以在我公司,亦或在工程現(xiàn)場(chǎng); 系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人,由業(yè)主指定,我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng); ...
TS-C TS-C系列是緊湊的動(dòng)態(tài)防振系統(tǒng),可隔離所有六個(gè)平移和旋轉(zhuǎn)振動(dòng)模式。 這些價(jià)格適中的動(dòng)態(tài)振動(dòng)隔離系統(tǒng)在體積上卻比比較大,**昂貴的無(wú)源系統(tǒng)更好地實(shí)現(xiàn)了隔離。使用壓電力馬達(dá)的慣性反饋不僅可以隔離建筑物的振動(dòng),還可以隔離放置在系統(tǒng)本身上的振...
IQ Aligner?NT技術(shù)數(shù)據(jù): 產(chǎn)能: 全自動(dòng):首/次生產(chǎn)量印刷:每小時(shí)200片 全自動(dòng):吞吐量對(duì)準(zhǔn):每小時(shí)160片晶圓 工業(yè)自動(dòng)化功能:盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,彎曲,翹曲,晶圓邊緣...
鏡頭組件Filmetrics 提供幾十種不同鏡頭配置。訂制專門用途 的鏡片一般在幾天之內(nèi)可以完成。 LA-GL25-25-30-EXR用于 60-1000mm 工作距離的直徑 1" 鏡頭組件,30mm 焦距鏡頭。KM-GL25用于直徑 1" 鏡頭的簡(jiǎn)...
Plessey工程副總裁John Whiteman解釋說(shuō):“ GEMINI系統(tǒng)的模塊化設(shè)計(jì)非常適合我們的需求。在一個(gè)系統(tǒng)中啟用預(yù)處理,清潔,對(duì)齊(對(duì)準(zhǔn))和鍵合,這意味著擁有更高的產(chǎn)量和生產(chǎn)量。EVG提供的質(zhì)量服務(wù)對(duì)于快 速有 效地使系統(tǒng)聯(lián)機(jī)至關(guān)重要?!?...
隨著時(shí)代的發(fā)展,輪廓儀也越來(lái)重要了,不少的產(chǎn)品檢測(cè)都需要通過(guò)輪廓儀進(jìn)行檢測(cè),***就讓我們來(lái)了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器。儀器傳感器相對(duì)于測(cè)量的工件臺(tái)以恒定速度滑動(dòng)。傳感器的觸針檢測(cè)測(cè)量?jī)x表的幾何變化,并分...
EVG?320自動(dòng)化單晶圓清洗系統(tǒng) 用途:自動(dòng)單晶片清洗系統(tǒng),可有效去除顆粒 EVG320自動(dòng)化單晶圓清洗系統(tǒng)可在處理站之間自動(dòng)處理晶圓和基板。機(jī)械手處理系統(tǒng)可確保在盒到盒或FOUP到FOUP操作中自動(dòng)預(yù)對(duì)準(zhǔn)和裝載晶圓。除了使用去離子水沖洗外,...
強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件 美國(guó)硅谷研發(fā)、中英文自由切換 光機(jī)電一體化軟硬件集成 三維分析處理迅速,結(jié)果實(shí)時(shí)更新 縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理 自主設(shè)定測(cè)量閾值,三維處理自動(dòng)標(biāo)注 ...
EVG ? 120--光刻膠自動(dòng)化處理系統(tǒng) EVG ? 120是用于當(dāng)潔凈室空間有限,需要生產(chǎn)一種緊湊的,節(jié)省成本光刻膠處理系統(tǒng)。 新型EVG120通用和全自動(dòng)光刻膠處理工具能夠處理各種形狀和尺寸達(dá)200 mm / 8“的基板。新一代EVG12...
NIL系統(tǒng)肖特增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)負(fù)責(zé)人RuedigerSprengard博士表示:“將高折射率玻璃晶圓的制造擴(kuò)展到300-mm,對(duì)于實(shí)現(xiàn)我們客戶滿足當(dāng)今和未來(lái)**AR/MR設(shè)備不斷增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求所需的規(guī)模經(jīng)濟(jì)產(chǎn)量來(lái)說(shuō)至關(guān)重要。通過(guò)攜手合作,EVG和肖特彰顯了當(dāng)今...
輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別 關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數(shù)。總之,輪廓...